超高精度面形干涉检测技术进展

发布时间：2021-07-03 03:41

　　深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展,超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级,超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限,具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势,主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。 

【文章来源】：光电工程. 2020,47(08)北大核心CSCD

【文章页数】：13 页

【部分图文】：

面形精度需求变化[2]

图1 面形精度需求变化[2]本文分析了面形干涉检测技术发展趋势，主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测的技术相关研究进展，主要包括重复精度及复现精度提升方法、绝对检测技术、高次非球面CGH补偿检测技术、重力变形补偿方法以及不确定度评估等关键技术。

精密支撑有限元仿真分析

【参考文献】：
期刊论文
[1]装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响[J]. 赵思伟,田爱玲,王大森,刘丙才,朱学亮,刘卫国.  光子学报. 2018(02)
[2]高精度光学元件支撑装置面形复现性分析与测量[J]. 王辉,周烽,王丽萍,于杰,金春水.  中国激光. 2013(12)

博士论文
[1]基于光线追迹和特征函数的非球面干涉检测系统建模及应用研究[D]. 何一苇.中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所) 2018
[2]干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究[D]. 全海洋.中国科学院光电技术研究所 2017
[3]基于平移旋转的球面绝对检测技术研究[D]. 宋伟红.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2014



本文编号：3261793