扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法研究

发布时间：2021-07-07 20:15

　　扫描探针显微镜在现代医疗、物理、化学等领域应用广泛,其微纳结构深度测量也因此得到普遍关注。文章尝试分析扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法,首先以机械探针、光学探针建立模拟实验,再结合结果分析影响测量精度的因素,最后据此分析校准方法,给出运用自动化技术、容错技术等内容。 

【文章来源】：科技创新与应用. 2020,(08)

【文章页数】：2 页

【部分图文】：

样本镜面反射

【参考文献】：
硕士论文
[1]高频复合超声扫描探针显微镜系统研制及应用研究[D]. 陈晓惠.华中科技大学 2016
[2]基于视觉检测的原子力显微镜探针自动定位技术研究[D]. 刘静怡.沈阳理工大学 2016



本文编号：3270297