不同梳齿形状的微纳力测量装置研究

发布时间：2021-07-08 21:50

　　梳齿电容是微电子机械系统中所广泛使用的结构,在微纳力测量装置中具有重要作用。针对微纳力测量装置中所使用的不同梳齿结构,利用数值模拟的方法,分析了不同形状梳齿作为微纳力测量装置时,在不同相对位置对微纳力测量结果的影响。研究结果表明,加载电压、梳齿相交长度以及梳齿间距偏移对不同梳齿形状的微纳力测量装置输出的影响明显不同,各梳齿形状输出微纳力的变化特性为微纳力测量装置的设计与制造提供了科学依据。 

【文章来源】：安庆师范大学学报(自然科学版). 2020,26(02)

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

不同梳齿形状微纳力测量结构

从图3中还可以发现，不同类型梳齿微纳力测量装置输出微纳力随梳齿相交长度的变化所呈现出的变化趋势有明显区别。当梳齿相交长度减小时，1#梳齿输出微纳力值（绝对值）先略有增大，然后基本保持稳定；2#梳齿的输出力值随相交长度减小迅速降低，且降低速度随相交长度的减小逐渐变缓；3#梳齿的输出微纳力变化最为复杂，当相交长度由9 mm（ΔY=-4 mm）减小至7 mm（ΔY=-2 mm）时，输出微纳力逐渐减小至零，当相交长度继续减小时，输出微纳力方向发生改变，且力值逐渐增大。通过三种形状梳齿输出曲线的比较还可发现，在本文研究的工况条件下，仅3#梳齿在相交长度为[-9 mm,-7 mm]区间内输出沿Y轴正方向的微纳力。在其他情况下，各形状梳齿输出的均为沿Y轴负方向的微纳力。图3 梳齿相交长度对微纳力测量装置输出的影响

梳齿相交长度对微纳力测量装置输出的影响


本文编号：3272397