基于计算全息的零位补偿干涉检测

发布时间：2021-08-29 18:43

　　光学面形的检测精度直接影响成像系统的性能,对基于计算全息的补偿干涉检测技术进行了研究,针对共轴计算全息的衍射波面在成像中心区域发生重叠,形成测试盲区这一问题,采用离轴计算设计方案对非球面的面形进行测量,检测方案采用分光路干涉结构,用离轴计算全息和会聚透镜组构成联合补偿器对波面进行零位补偿并分离衍射级次,完成非球面面形的干涉检测.结果表明,该方案能够消除测试盲区,同时测得全口径面形数据,并保持了良好的精度. 

【文章来源】：辽宁大学学报(自然科学版). 2020,47(04)

【文章页数】：6 页

【部分图文】：

零位补偿干涉测试示意图

其中，r2=x2+y2,c=1/R0,R0=156.47 mm,k=0,A4=2.322 15×10-8,A6=2.541 66×10-12通过三点法计算可得该非球面的最佳拟合球面半径为154.46 mm，法向最大偏离量为0.017 6 mm，非球面设计面形与最佳拟合球面之间的偏差如图2所示，其中最大偏离位置约位于0.070环带．

测试方案采用泰曼-格林分光路干涉结构，搭配离轴CGH完成相位补偿，如图3所示．在图3中，激光器发出的光线首先进行扩束，然后由准直系统调制成平行光，经过分光后光束形成反射光和透射光两束出射光线，其中反射光垂直入射参考球面，反射后穿过分光镜形成参考波面，另一束透射光穿过透镜组，形成标准球面波并入射到非球面表面，反射回来穿过分光镜形成测试波面，离轴CGH放在成相臂，位于成像透镜组前方，对衍射波面进行滤波，选取参考光0级和测试光-1级作为工作级次，相遇后形成干涉图，分析干涉图即可获得非球面与理想面形之间的数据偏差分布．

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于干涉法的非球面测量技术[J]. 郝群,宁妍,胡摇.  计测技术. 2018(01)



本文编号：3371181