工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究

发布时间：2021-09-09 16:46

　　传统的数学模型无法将输入功率控制在合理的范围内,为此提出工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究。运用普林斯顿线性方程标定工艺参数,再运用对称算法计算光学元件加工精度误差。完成上述工作后,依据傅立叶变换理论,确定数学模型特性,实现数学模型的构建。由此,完成工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究。最后,应用分析软件COMSOL Multiphysics建立实验平台,分别测试数学模型和传统数学模型是否能够将输入功率控制在合理范围内。所建数学模型实验结果表明,峰值去除率呈线性增长,当输入功率越高,电子被激发的速度越快,分布范围越大。由此可知,所建数学模型可以将输入功率控制在合理的范围内。 

【文章来源】：激光杂志. 2020,41(08)北大核心

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

光学元件抛光过程

为验证所提的数学模型构建的合理性，设置实验，应用分析软件COMSOL Multiphysics建立实验平台，仿真实验流程图，见图2所示;在气压下CCP的仿真平台下，对传统数学模型和本次构建的数学模型进行仿真分析。工艺参数包括气体流量、输出功率和加工距离等。在本次实验中为简化计算过程，仅计算输出功率对光学元件加工精度的影响，检测2种数学模型是否能够达到生产的自动化的目标。等离子放电是由外加电场驱动的，输入功率越大，就会有越多的能量传递给电子。重粒子在与中性气体分子发生碰撞时，才能有效地交换能量。在实验中，需要设置合理的边界条件，保证计算结果的有效性。

实验对比结果

【参考文献】：
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本文编号：3392438