一种双线并绕无感薄膜铂热电阻研制
发布时间：2021-10-09 21:55
薄膜铂热电阻具有产品体积小、测量精度高等优点,在工业、农业、航空、航天等各个领域的温度高精度测量系统中广泛应用。电磁波的耦合辐射广泛存在于测控电路中,形成电磁干扰空间环境,影响各类电子元器件工作性能,薄膜铂热电阻如何能够实现有效抑制空间环境中电磁干扰,是实现在外界电磁干扰环境下温度精确测量的技术难点之一。本文针对现有薄膜铂热电阻抗电磁干扰能力较弱的问题,提出电磁场环境下精确测温的解决方案。基于电磁感应原理,将薄膜铂热电阻视为传统绕线型传感器二维微小的变体形式,建立无感结构模型,利用双线并行布线技术,减小电磁场对感温元件的干扰,对产品结构进行仿真分析,设计敏感电阻栅线宽30μm,铂膜厚度1.5μm～2μm,分析陶瓷基片和高纯铂靶等重要原材料对产品性能影响并对其进行优选,对铂膜制备、精细刻蚀、陶瓷激光打孔、包封烧结钝化和激光调阻关键工艺方法进行研究,明确各项工艺方法工艺参数指标,实现无感结构薄膜铂热电阻研制,同时,搭建测试系统,对产品各项指标进行分析。实验结果表明:采用双线并绕结构设计的薄膜铂热电阻在阻值精度、温度系数、绝缘电阻、响应时间、重复性等技术指标上与常规薄膜铂热电阻指标相近,满足...
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：68 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
德国贺利氏公司产品电阻条分布
哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-3-表1-1（续）性能指标铂热电阻(PRTD)热敏电阻(NTC)热敏电阻（KTY）测温误差、稳定性额定电阻误差：+500°C时1000h之后为0.04%额定电阻误差：150°C时100h之后为0.35%额定电阻误差：150°C时1250h之后为0.45%精确度DINEN60751的精确度，B级+100°C时为±0.21%，+500°C时为±0.33%平均电阻精确度为±1%，高于狭小的温度范围±0.2°C平均精确度为±5%，最高电阻精确度：±0.5%分辨率在整个测量温度范围,信号灵敏度保持一致，例如1000Ω时，>4Ω/℃信号灵敏度高，但仅限于一定温度区间信号灵敏度高，大约为15Ω/℃封装形式带连接导线的基本元件，条形SMD类型环氧树脂或玻璃外壳；二极管组件，SMD类型玻璃外壳，SMD和二极管组件图1-2各类敏感元件温度特性曲线对比常见的铂热电阻分为玻璃封装型、云母型、陶瓷封装型和薄膜型。玻璃封装型铂电阻：将铂丝缠绕在玻璃棒上，调整电阻0℃时的阻值，然后放入玻璃套管内。其结构示意图如图1-3所示[10]。图1-3玻璃封装型铂电阻结构示意图云母型铂电阻：把铂丝缠绕在两侧带有沟槽的云母板上，再将其夹在云母
哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-3-表1-1（续）性能指标铂热电阻(PRTD)热敏电阻(NTC)热敏电阻（KTY）测温误差、稳定性额定电阻误差：+500°C时1000h之后为0.04%额定电阻误差：150°C时100h之后为0.35%额定电阻误差：150°C时1250h之后为0.45%精确度DINEN60751的精确度，B级+100°C时为±0.21%，+500°C时为±0.33%平均电阻精确度为±1%，高于狭小的温度范围±0.2°C平均精确度为±5%，最高电阻精确度：±0.5%分辨率在整个测量温度范围,信号灵敏度保持一致，例如1000Ω时，>4Ω/℃信号灵敏度高，但仅限于一定温度区间信号灵敏度高，大约为15Ω/℃封装形式带连接导线的基本元件，条形SMD类型环氧树脂或玻璃外壳；二极管组件，SMD类型玻璃外壳，SMD和二极管组件图1-2各类敏感元件温度特性曲线对比常见的铂热电阻分为玻璃封装型、云母型、陶瓷封装型和薄膜型。玻璃封装型铂电阻：将铂丝缠绕在玻璃棒上，调整电阻0℃时的阻值，然后放入玻璃套管内。其结构示意图如图1-3所示[10]。图1-3玻璃封装型铂电阻结构示意图云母型铂电阻：把铂丝缠绕在两侧带有沟槽的云母板上，再将其夹在云母
【参考文献】：
期刊论文
[1]退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究[J]. 王金鹏,周晨飞,梁军生,王大志,任同群. 机电工程技术. 2019(08)
[2]水轮发电机测温元件应用研究[J]. 温兴利. 东方电气评论. 2018(04)
[3]聚酰亚胺柔性温度传感器的制作与性能测试[J]. 何柳丰,窦文堃,刘军山. 机电工程技术. 2018(11)
[4]基于纳米裂纹的超高灵敏度柔性温度传感器[J]. 初永志,郭洪吉,尹鹏和,刘军山. 机电工程技术. 2018(11)
[5]无线通信电磁干扰与防治关键技术研究[J]. 张飞,王晓. 数字通信世界. 2018(10)
[6]阳极层离子源的发展及应用[J]. 冉彪,李刘合. 真空. 2018(05)
[7]双线反向并绕结构的四相无刷直流电机[J]. 夏灯启. 轻工机械. 2014(05)
[8]水辅助激光刻蚀氧化铝陶瓷的研究[J]. 孔令瑞,张菲,段军,罗瑞峰,曾晓雁. 激光技术. 2014(03)
[9]高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究[J]. 姜国光,王震,张洪泉,王大兴. 传感器与微系统. 2013(03)
[10]基于厚膜混合集成电路的激光调阻工艺研究[J]. 王姜伙,王志勤. 电子与封装. 2012(11)
博士论文
[1]激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析[D]. 王志娟.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2005
本文编号：3427069
【文章来源】：哈尔滨工业大学黑龙江省 211工程院校 985工程院校
【文章页数】：68 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
德国贺利氏公司产品电阻条分布
哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-3-表1-1（续）性能指标铂热电阻(PRTD)热敏电阻(NTC)热敏电阻（KTY）测温误差、稳定性额定电阻误差：+500°C时1000h之后为0.04%额定电阻误差：150°C时100h之后为0.35%额定电阻误差：150°C时1250h之后为0.45%精确度DINEN60751的精确度，B级+100°C时为±0.21%，+500°C时为±0.33%平均电阻精确度为±1%，高于狭小的温度范围±0.2°C平均精确度为±5%，最高电阻精确度：±0.5%分辨率在整个测量温度范围,信号灵敏度保持一致，例如1000Ω时，>4Ω/℃信号灵敏度高，但仅限于一定温度区间信号灵敏度高，大约为15Ω/℃封装形式带连接导线的基本元件，条形SMD类型环氧树脂或玻璃外壳；二极管组件，SMD类型玻璃外壳，SMD和二极管组件图1-2各类敏感元件温度特性曲线对比常见的铂热电阻分为玻璃封装型、云母型、陶瓷封装型和薄膜型。玻璃封装型铂电阻：将铂丝缠绕在玻璃棒上，调整电阻0℃时的阻值，然后放入玻璃套管内。其结构示意图如图1-3所示[10]。图1-3玻璃封装型铂电阻结构示意图云母型铂电阻：把铂丝缠绕在两侧带有沟槽的云母板上，再将其夹在云母
哈尔滨工业大学工程硕士学位论文-3-表1-1（续）性能指标铂热电阻(PRTD)热敏电阻(NTC)热敏电阻（KTY）测温误差、稳定性额定电阻误差：+500°C时1000h之后为0.04%额定电阻误差：150°C时100h之后为0.35%额定电阻误差：150°C时1250h之后为0.45%精确度DINEN60751的精确度，B级+100°C时为±0.21%，+500°C时为±0.33%平均电阻精确度为±1%，高于狭小的温度范围±0.2°C平均精确度为±5%，最高电阻精确度：±0.5%分辨率在整个测量温度范围,信号灵敏度保持一致，例如1000Ω时，>4Ω/℃信号灵敏度高，但仅限于一定温度区间信号灵敏度高，大约为15Ω/℃封装形式带连接导线的基本元件，条形SMD类型环氧树脂或玻璃外壳；二极管组件，SMD类型玻璃外壳，SMD和二极管组件图1-2各类敏感元件温度特性曲线对比常见的铂热电阻分为玻璃封装型、云母型、陶瓷封装型和薄膜型。玻璃封装型铂电阻：将铂丝缠绕在玻璃棒上，调整电阻0℃时的阻值，然后放入玻璃套管内。其结构示意图如图1-3所示[10]。图1-3玻璃封装型铂电阻结构示意图云母型铂电阻：把铂丝缠绕在两侧带有沟槽的云母板上，再将其夹在云母
【参考文献】：
期刊论文
[1]退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探究[J]. 王金鹏,周晨飞,梁军生,王大志,任同群. 机电工程技术. 2019(08)
[2]水轮发电机测温元件应用研究[J]. 温兴利. 东方电气评论. 2018(04)
[3]聚酰亚胺柔性温度传感器的制作与性能测试[J]. 何柳丰,窦文堃,刘军山. 机电工程技术. 2018(11)
[4]基于纳米裂纹的超高灵敏度柔性温度传感器[J]. 初永志,郭洪吉,尹鹏和,刘军山. 机电工程技术. 2018(11)
[5]无线通信电磁干扰与防治关键技术研究[J]. 张飞,王晓. 数字通信世界. 2018(10)
[6]阳极层离子源的发展及应用[J]. 冉彪,李刘合. 真空. 2018(05)
[7]双线反向并绕结构的四相无刷直流电机[J]. 夏灯启. 轻工机械. 2014(05)
[8]水辅助激光刻蚀氧化铝陶瓷的研究[J]. 孔令瑞,张菲,段军,罗瑞峰,曾晓雁. 激光技术. 2014(03)
[9]高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究[J]. 姜国光,王震,张洪泉,王大兴. 传感器与微系统. 2013(03)
[10]基于厚膜混合集成电路的激光调阻工艺研究[J]. 王姜伙,王志勤. 电子与封装. 2012(11)
博士论文
[1]激光调阻的阻值关系研究及其控制策略分析[D]. 王志娟.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2005
本文编号：3427069
本文链接：https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/3427069.html
