双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型

发布时间：2021-10-10 19:57

　　根据双轴电热机械MEMS微镜的热力学、机械振动、频率响应和光学动态扫描图形分析,考虑驱动臂轴间交叉耦合情况,建立了双轴电热机械MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型。通过Matlab/Simulink对微镜系统模型进行仿真,并模拟了双轴电热机械MEMS微镜单个驱动臂和两个驱动臂的光学动态扫描模式。将仿真图形与双轴电热机械MEMS微镜动态扫描的实际情况进行对比,结果表明该模型有效仿真出双轴电热机械MEMS微镜的光学动态扫描模式,达到预测该微镜光学动态扫描图形的目的。 

【文章来源】：浙江理工大学学报(自然科学版). 2020,43(03)

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
0 引 言
1 双轴电热机械MEMS微镜的结构
2 双轴电热机械MEMS微镜建模
    2.1 电热机械模型
    2.2 考虑驱动臂轴间交叉耦合的双轴电热机械MEMS微镜模型
3 仿真实验及结果分析
    3.1 单个驱动臂的频率响应分析
    3.2 单个和两个驱动臂扫描图形分析
4 结 论



本文编号：3429057