水力空化气液固三相磨粒流抛光工具及系统研究
发布时间：2021-10-18 10:17
伴随现代科学技术的发展,光学元器件被广泛使用,所以光学材料表面实现超光滑加工变得越来越重要。为解决传统磨粒流抛光效率相对较低的问题,提出了水力空化气液固三相磨粒流抛光方法。该方法利用异形文丘里管结构产生空化效应,空化产生的微射流加速磨粒与工件的碰撞,从而提高磨粒流抛光效率。本文主要完成的工作如下:（1）理论研究:在课题组原有将气泡直接通入软性磨粒流形成气液固三相磨粒流基础上,分析空化产生的机理,尝试将常规文丘里管的结构进行改造,改造后的异形文丘里管自发空化产生气泡,利用气泡溃灭效应提高材料去除。（2）数值分析:基于mixture多相流计算方法,利用realize k-ε湍流模型和Singhl空化模型,建立了气液两相流流体空化力学模型,通过数值模拟计算结果验证了本文所提空化结构的可行性,并明确了流场特性和空化特性,获得优化结构尺寸,即本文中的角度α取55°,LB尺寸取0.9mm,LC尺寸取1.0mm。（3）实验平台设计:基于异形文丘里管的结构特点,设计了相对应的机械结构,建立了整套全自动循环的气液固三相磨粒流加工实验平台,包括管道的稳定性与安全...
【文章来源】：浙江工业大学浙江省
【文章页数】：79 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
单晶硅
题的来源论文来源于国家自然科学基金委面上项目——面约束流场中空化冲学规律及其壁面效应可控性研究（项目编号：51575494）。究背景及研究现状研究背景十世纪七十年代以来，半导体技术、现代电子信息技术不断更新换代工业领域内生产的工艺产品不断向着精密化、环保化、集成化、展，对于军工、航天、航空、天文等领域内需要大量的不同口径与璃如图 1-2 的 K9 玻璃以及半导体元器件[1-4]，例如在现代飞机制造中统中使用的特殊构造异形棱镜，手机制造中的各种摄像镜头如图 1-达到 7nm 级别的 COMS 半导体元器件、天文望远镜中低色散玻璃 1-1 为单晶硅，用于制造半导体器件和太阳能电池等。
半导体技术、现代电子信息技术域内生产的工艺产品不断向着精密化、环保化军工、航天、航空、天文等领域内需要大量的2 的 K9 玻璃以及半导体元器件[1-4]，例如在现代特殊构造异形棱镜，手机制造中的各种摄像镜 级别的 COMS 半导体元器件、天文望远镜中晶硅，用于制造半导体器件和太阳能电池等。图 1-1 单晶硅 图 1-2 K9 玻璃-1. Single crystal silicon Figure 1-2. K9 g
本文编号：3442638
【文章来源】：浙江工业大学浙江省
【文章页数】：79 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
单晶硅
题的来源论文来源于国家自然科学基金委面上项目——面约束流场中空化冲学规律及其壁面效应可控性研究（项目编号：51575494）。究背景及研究现状研究背景十世纪七十年代以来，半导体技术、现代电子信息技术不断更新换代工业领域内生产的工艺产品不断向着精密化、环保化、集成化、展，对于军工、航天、航空、天文等领域内需要大量的不同口径与璃如图 1-2 的 K9 玻璃以及半导体元器件[1-4]，例如在现代飞机制造中统中使用的特殊构造异形棱镜，手机制造中的各种摄像镜头如图 1-达到 7nm 级别的 COMS 半导体元器件、天文望远镜中低色散玻璃 1-1 为单晶硅，用于制造半导体器件和太阳能电池等。
半导体技术、现代电子信息技术域内生产的工艺产品不断向着精密化、环保化军工、航天、航空、天文等领域内需要大量的2 的 K9 玻璃以及半导体元器件[1-4]，例如在现代特殊构造异形棱镜，手机制造中的各种摄像镜 级别的 COMS 半导体元器件、天文望远镜中晶硅，用于制造半导体器件和太阳能电池等。图 1-1 单晶硅 图 1-2 K9 玻璃-1. Single crystal silicon Figure 1-2. K9 g
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