X射线反射镜研制技术的现状和发展

发布时间：2021-12-16 04:38

　　本文总结了当前同步辐射X射线反射镜光学制造技术的需求背景、发展现状以及未来方向。同步辐射光源是国家重大科学装置,作为同步辐射光源重要光学元件的X射线反射镜,直接决定着光学调制品质。短波长掠入射的特殊应用场景,使X射线反射镜有着更为特殊且高精度的面形要求,其加工与检测技术长期为国外所垄断,国内发展较为缓慢,面对国内未来同步辐射装置的建设需求,我国亟需打破这一现状。 

【文章来源】：光电工程. 2020,47(08)北大核心CSCD

【文章页数】：12 页

【部分图文】：

蔡司X射线反射镜制造工艺

1991年，Mori等人提出等离子体化学气相加工方法(plasma chemical vaporization machining,PCVM)，配合EEM的前道加工设备为化学等离子体抛光[9]，它采用电容耦合等离子体放电形式，以高速回转电极做阳极，电极与工件之间形成高速等离子体流，使镜面原子反应气化并快速排出，抑制表面沉积现象的发生，原理示意图见图4。这种基于化学加工的非接触加工方式，可以避免机械加工所引入的脆性断裂、塑性变形、残余应力等缺陷。图3 弹性粒子发射加工原理示意图[10]

弹性粒子发射加工原理示意图[10]

【参考文献】：
期刊论文
[1]中国高能同步辐射光源及其验证装置工程[J]. 姜晓明,王九庆,秦庆,董宇辉,盛伟繁,程健,徐刚,胡天斗,邓虎,陈福三,龙锋利,陆辉华,岳军会,李春华,孙毅,陈锦晖,董海义,蔡泉,徐伟,李明,常广才,郑红卫,陶冶,刘鹏,刘景,孙冬柏,黎刚,石泓,曹建社,谭园园.  中国科学:物理学 力学 天文学. 2014(10)
[2]使用子孔径拼接法检测大口径光学元件[J]. 张蓉竹,杨春林,许乔,蔡邦维.  光学技术. 2001(06)



本文编号：3537498