双路白光显微干涉测厚系统研究

发布时间：2021-12-18 08:18

　　液晶显示屏（LCD）以其体积小、功耗低、接口方便控制的优点在智能电子产品中得到了广泛的应用。LCD的厚度及其均匀性直接影响显示清晰度性能,因此对LCD厚度的测量意义重大。本文对常见的厚度测量方法原理和特点进行分析比较,根据LCD自身特点和测量要求,设计了双路白光显微干涉测厚系统。主要内容如下:1.系统采用Mirau干涉分光光路,分为左右相同且位置对称的两装置,左右装置建立统一坐标系来确定其对应的位置关系。两束白光分别聚焦到被测物体左右表面上,两CCD分别采集左右被测物体表面形成的白光干涉图像,在统一坐标系下分析两CCD上的白光干涉图像从而得到被测物体的厚度。2.在此测量原理基础上,选择白光光源、Mirau干涉显微镜、图像采集装置等光学元件设计干涉光学成像系统和相应的机械结构。3.使用MATLAB处理采集到的白光干涉图像,得到十字刻线中心提取算法、计算任意方向条纹斜率算法。特别是提出了一种提取白光零级干涉条纹中心位置的三色条纹分离度方法,与现有的提取白光零级干涉条纹中心位置方法相比,这种新方法基于白光干涉条纹的物理本质,定位更加简单、可靠。4.对搭建的双路白光显微干涉系统进行光路微调整、... 

【文章来源】：华中科技大学湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：74 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

液晶显示屏（LCD）结构图

点应用尤为普遍，常用的光学测量法主要有光吸法[7]。据待测物体内部传播的光的衰减规律进行厚度测比尔-朗伯定律表示为：)K b cT1A l g ( A 为吸光度；T 为透射比，是透射光强比入射光波长有关的摩尔吸收系数；c 为光物质的浓度；反应了光在被测物体内部传播的衰减程度与被间的关系，这一定律被广泛的应用于定量分析物是近红外光吸收法测厚，美国 NDC 公司在这方on 等人研制了如图 1-2 所示的宽波段聚合物厚度

华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文漫射光源发出的漫射宽波段光通过乳白玻璃均匀照射到被测薄膜的透射光。分析系统光源入射光和被测薄膜到被测薄膜厚度。这种装置的优点是系统成本低、可快，但是，装置相对测量误差较大，精度较低。法非破坏性是多功能光学测量技术椭圆偏振法的优点，厚度的测量、物质介电性质等工业测量中[11]。圆偏振法的测厚原理，非线偏振光从光源射出，通过测表面的光是椭圆偏振光，检偏器和光电探测器的作入射偏振光与反射偏振光的偏振状态与被测薄膜厚度被测薄膜的厚度 d 就可以通过分析测量光偏振状态的变

【参考文献】：
期刊论文
[1]基于椭圆偏振法的薄膜厚度测量[J]. 李勇,李刚,曹小荣,李亮.  安阳工学院学报. 2016(04)
[2]电子产品液晶显示屏应用技术探讨[J]. 苏锡锋.  黄河水利职业技术学院学报. 2011(04)
[3]基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法[J]. 薛晖,沈伟东,顾培夫,罗震岳,刘旭,章岳光.  光学学报. 2009(07)
[4]涂镀层厚度检测方法的发展现状及展望[J]. 杨华,董世运,徐滨士.  材料保护. 2008(11)
[5]基于扫描白光干涉法的接触式表面形貌轮廓测量仪[J]. 张玲玲,谢铁邦.  计量技术. 2007(03)
[6]WI VS三维表面形貌测量仪[J]. 常素萍,谢铁邦.  计量技术. 2006(12)
[7]微表面形貌大视场检测相移显微干涉仪研制[J]. 张红霞,张以谟,井文才,李朝辉,周革,朱蔚.  光电子·激光. 2006(08)
[8]柯拉照明在显微镜调节中的应用[J]. 刘金,解玉兰.  实验室科学. 2006(02)
[9]白光扫描干涉测量算法综述[J]. 杨天博,郭宏,李达成.  光学技术. 2006(01)
[10]表面形貌光学法测量技术[J]. 冯斌,王建华.  计量与测试技术. 2005(06)

博士论文
[1]基于白光干涉轮廓尺寸与形貌非接触测量方法和系统[D]. 常素萍.华中科技大学 2007
[2]用于微表面形貌检测的纳米级白光相移干涉研究及仪器化[D]. 张红霞.天津大学 2004
[3]表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D]. 惠梅.中国科学院西安光学精密机械研究所 2001

硕士论文
[1]便携式单镜头激光三角测厚仪研究[D]. 汪琛.华中科技大学 2013
[2]基于DSP的超声测厚系统研究[D]. 周莹.哈尔滨工程大学 2009
[3]光谱型白光干涉在测距和光学薄膜相位测试中的应用研究[D]. 倪肖勇.浙江大学 2008



本文编号：3541997