平面平晶局部平面度校准的探讨

发布时间：2021-12-24 11:25

　　文章介绍了用平面平晶校准量块工作面平面度的方法,根据校准原理提出局部平面度校准来提高被测量面平面度校准的精度,并对平面平晶的局部校准提出了新的建议。 

【文章来源】：计量与测试技术. 2020,47(04)

【文章页数】：3 页

【部分图文】：

平晶与量块测量面之间的干涉条纹图像示意图

为解决这一问题，本院采用型号为HOOL L9600的无应力平面检测激光干涉仪来校准平面平晶。该仪器是我院与苏州慧利仪器有限公司的合作项目，采用据菲索型干涉原理，实现组合式高精度面形检测，优点在于是能够实现高精度、100%无损的平晶平面度测量，可一次性获取平晶的平面度和三维面形图，并且对数据进行实时分析处理。还可通过软件自带编辑功能，对图形进行局部分析。操作过程如图2所示，可以通过选取口径形状、口径位置，直接得到50%d、66.7%d和96%d，即(1/2)d范围内、(2/3)d范围内、d范围内或其他口径范围的平面度，如图2所示。4 平晶局部平面度的应用

本方法也可测量多形状和任意平面位置的局部平晶平面度。若客户知道自己实际使用平晶的形状和位置，我们可以根据实际使用的要求得到圆形、椭圆、矩形、环形、多边形等形状和位置，如图3所示，并得出相应的平面度数据。提高了产品的平面度测量精度，也更好的满足客户度方面的需求。5 结论


本文编号：3550401