离子束抛光等量去除的实现及抛光实验

发布时间：2022-01-02 18:36

　　为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根（RMS）为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除的去除量及波动量。根据理论及实验数据分析验证一维等量去除的可行性,得出最优叠加间距为σ。再以σ为叠加间距进行二维等量去除理论及实验分析,通过30s熔石英二维等量去除实验,得出去除量为384.7nm。结合抛光实验,对RMS值为138.5nm的Φ100mm口径的熔石英平面窗口玻璃进行面形修正,加工后RMS值为18nm,面形收敛率达到7.82。 

【文章来源】：激光与光电子学进展. 2020,57(03)北大核心CSCD

【文章页数】：7 页

【部分图文】：

去除函数拟合图

采用图2所示栅格路径的加工方式对光学元件进行修形。因为栅格路径的加工方式与二维等量去除率以及元胞尺寸的划分有关，通过分析及实验发现元胞直径为1.41σ时，能够获取准确的驻留时间，达到较高的面形收敛。为了实现离子束等量去除相关量，对高斯型去除函数进行预测，其数学表达式所传递的含义都与σ有关，因此根据σ来分析不同叠加间距下的等量去除效果。2.1 一维等量去除的实现

γ值的大小表示波动程度的大小，波动值越大叠加效果越差。波动值分析曲线如图4所示。当叠加间距为σ时，波动值为3.57×10-6 nm；叠加间距为1.5σ时，波动值为0.13nm，基本实现了理想的理论去除；当叠加间距为2σ时，波动比较明显，因此选择叠加间距在2σ以内进行实验分析更合理。图4 波动值变化曲线

【参考文献】：
期刊论文
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[3]大口径非球面元件磨削轮廓测量技术研究进展[J]. 席建普,李彬,任东旭,赵则祥.  激光与光电子学进展. 2018(03)
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博士论文
[1]离子束抛光大口径非球面去除模型与工艺研究[D]. 唐瓦.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2016
[2]离子束加工技术研究[D]. 武建芬.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2010
[3]光学镜面离子束加工材料去除机理与基本工艺研究[D]. 焦长君.国防科学技术大学 2008
[4]光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D]. 周林.国防科学技术大学 2008

硕士论文
[1]离子束抛光去除特性研究[D]. 段沽坪.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2013
[2]高精度球体类零件离子束确定性修形技术研究[D]. 廖文林.国防科学技术大学 2010



本文编号：3564679