一种基于改进型裙摆探针的三维原子力显微技术（英文）

发布时间：2022-01-11 00:02

　　针对微纳米结构的真三维形貌无损检测需求,研制了基于裙摆型针尖（Flared tip）的三维原子力显微镜（3D-AFM）。设计了一种高精度扫描平台结构,通过同时移动探针和样品实现快速伺服反馈,并利用组合式纳米定位台来保证位移的线性度和正交性。为了消除因AFM测头移动引起的信号偏差,设计了随动式光杠杆系统用于检测悬臂梁的形变量。此外,提出了一种基于商用裙摆探针的悬臂梁裁剪方法,可减小测量过程中针尖横向受力。将改进型探针安装到3D-AFM系统上,利用自适应矢量逼近扫描策略进行了多种样品的3D测量实验。实验结果表明,样机的垂直方向位移噪声（RMS）优于0.1 nm,高/宽测量重复性（峰峰值）优于2.5 nm。 

【文章来源】：Journal of Measurement Science and Instrumentation. 2020,11(04)CSCD

【文章页数】：9 页

【文章目录】：
0 Introduction
1 3D-AFM system configuration
    1.1 Combined scanning and positioning system
    1.2 Cantilever deformation detecting system
    1.3 Improved probe with flared tip
2 Adaptive angle scanning method
3 Experimental results and analysis
4 Conclusion



本文编号：3581672