非球面面型检测新原理研究

发布时间：2022-01-23 07:24

　　深入比较了非球面光学元件与球面元件间的优缺点,讨论了非球面光学元件面型精度检测的重要性,调研了当前国内外非球面光学元件面型检测技术的相关方法,综述了当前非球面光学元件面型检测方法的实现的难易点及不足,最终提出非球面面型检测新方法,给出了检测新原理的具体实施方案。 

【文章来源】：科学技术创新. 2020,(26)

【文章页数】：2 页

【部分图文】：

无像差点检测示意图

苏联科学家最早提出补偿镜，后逐步演变为多种方法，其中，Offner补偿镜最为普及，其校正了非球面球差，补偿精度高。图2所示为Offner补偿镜检测示意图。(3）计算全息图法

计算全息图是利用计算机生成波前全息图案，后制备图案基底，当光照时，就会复现全息记录。利用此原理可生成与之匹配的非球面波，进行实现面型检测。图3所示为计算全息对非球面的检测示意图。(4）环带拼接法


本文编号：3603885