微结构滤光片的研制
发布时间：2022-02-22 01:38
多光谱成像技术是目标探测领域的先进技术,目前正向着光谱通道更多、集成度更高、体积更小和质量更轻的方向发展,所以多通道微结构窄带滤光片已成为研究的热点。然而,微结构滤光片的研制目前还受到通道光谱透射率较低以及微结构单元的微型化程度和制备精度也不高的局限。因此,必须进一步展开对微结构滤光片的制备方法和制备工艺的探究。本文主要是对微结构滤光片的设计以及基本工艺的研究,基于F-P滤光膜原理设计了可见光波段的3个不同中心波长的窄带滤光片;采用光化学掩模分离法制备了微结构单元;利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术沉积得到了微结构滤光片,同时研究了 PECVD制备的薄膜复形性问题。主要研究结论如下:（1）传统的全介质单半波型的F-P滤光膜中,间隔层为高折射率材料的膜系G/（HL）22mH（LH）2/A具有良好的峰值透过率和通带半宽度,有最佳的设计结果。膜系层数少和膜层总厚度较薄,实际制备时较为容易;（2）利用PECVD技术制备得到了中心波长分别为480nm、520nm和590nm的窄带滤光膜,峰值透过率对应分别为83.85%、83.49%和90.38%,通带半宽度分别是33nm、50nm ...
【文章来源】：西安工业大学陕西省
【文章页数】：74 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
摘要
Abstract
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 微结构滤光片的研制现状
1.3 课题主要工作
1.3.1 主要研究内容及重点
1.3.2 课题研究方案
1.3.3 论文章节安排
1.4 小结
2 工艺技术及理论基础
2.1 F-P滤光片的制备基础
2.1.1 全介质F-P滤光片
2.1.2 PECVD技术
2.1.3 主要测试分析设备
2.2 微纳加工技术
2.2.1 常见微光学元件的制备方法
2.2.2 光刻技术
2.2.3 ICP刻蚀技术
2.3 复形性
2.4 小结
3 微结构滤光片的设计
3.1 掩模板设计
3.2 光刻图形化
3.2.1 图形化工艺流程
3.2.2 图形化工艺研究
3.3 膜系设计及分析
3.3.1 膜系设计
3.3.2 允差分析
3.4 小结
4 滤光片膜系的镀制及测试
4.1 单层膜稳定性实验
4.1.1 单层SiO_x薄膜稳定性实验
4.1.2 单层SiN_x薄膜稳定性实验
4.2 单层膜稳定性对膜系的影响
4.3 滤光片的镀制
4.4 样片的测试和分析
4.5 小结
5 微结构滤光片的制备
5.1 复形性探究
5.1.1 初步探究
5.1.2 复形性探究过程
5.1.3 复形性探究的结果
5.2 微结构滤光片的制备过程
5.3 结果及分析
5.4 小结
6 结论及展望
6.1 结论
6.2 展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢
【参考文献】：
期刊论文
[1]东北地区区域植被净初级生产力估算[J]. 王静,施润和,张璐. 遥感信息. 2016(05)
[2]星载小型线性渐变滤光片型成像光谱仪设计[J]. 李文杰,王成良,石斌斌,欧阳琰,彭赛阳. 红外. 2015(12)
[3]多光谱成像技术分析彩色艺术品的相关基础研究[J]. 王雪培,赵虹霞,李青会,刘卫东,苏伯民. 光学学报. 2015(10)
[4]地形对蚀变信息光谱影响研究与应用[J]. 韩晓静,邢立新,潘军,周彩彩,于一凡,董连英. 遥感技术与应用. 2014(01)
[5]微型化多通道滤光片光谱串扰模型的建立和评价[J]. 张建寰,刘婷婷,林珊. 光学技术. 2013(06)
[6]组合套镀法制备2.0～2.4 μm波段8通道微型集成滤光片[J]. 罗海瀚,李耀鹏,蔡清元,刘定权. 中国激光. 2012(11)
[7]多光谱阴道镜的微型化多通道滤光片设计[J]. 张建寰,张陈涛,卓勇,陈延平,林珊,孔令华. 光学精密工程. 2012(09)
[8]多光谱成像技术在生物医学中的应用进展[J]. 曾卫娟,李宗焕,文印宪,陈洪雷. 现代生物医学进展. 2012(05)
[9]用于液晶可调谐滤光片型多光谱成像仪的中继成像系统设计[J]. 付强,黄旻,景娟娟,相里斌. 光学学报. 2011(10)
[10]基于LCTF的多光谱面阵CCD相机的辐射定标[J]. 杜丽丽,易维宁,张冬英,黄红莲,乔延利,张渫. 光谱学与光谱分析. 2011(01)
博士论文
[1]集成滤光微结构的InGaAs短波红外探测器[D]. 王云姬.中国科学院研究生院（上海技术物理研究所） 2014
[2]微光学元器件的激光微纳制备及性能表征[D]. 林晓锋.吉林大学 2012
[3]微光学器件灰度掩模制作及应用技术的研究[D]. 谌廷政.国防科学技术大学 2004
[4]声光可调滤光片在光谱化学分析中的应用[D]. 田媛.吉林大学 2004
硕士论文
[1]折衍二元光学元件模压技术研究[D]. 虎将.西安工业大学 2015
[2]薄膜沉积过程中成核生长机理及调控的分子模拟研究[D]. 王易生.哈尔滨理工大学 2015
[3]PECVD制备光学薄膜折射率控制技术研究[D]. 薛俊.西安工业大学 2014
[4]PEVCD技术制作减反膜研究[D]. 张霄.西安工业大学 2010
[5]氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究[D]. 陈全海.西北师范大学 2007
[6]数字光刻及其制作微光学元件的模拟研究[D]. 段茜.四川大学 2006
本文编号：3638429
【文章来源】：西安工业大学陕西省
【文章页数】：74 页
【学位级别】：硕士
【文章目录】：
摘要
Abstract
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 微结构滤光片的研制现状
1.3 课题主要工作
1.3.1 主要研究内容及重点
1.3.2 课题研究方案
1.3.3 论文章节安排
1.4 小结
2 工艺技术及理论基础
2.1 F-P滤光片的制备基础
2.1.1 全介质F-P滤光片
2.1.2 PECVD技术
2.1.3 主要测试分析设备
2.2 微纳加工技术
2.2.1 常见微光学元件的制备方法
2.2.2 光刻技术
2.2.3 ICP刻蚀技术
2.3 复形性
2.4 小结
3 微结构滤光片的设计
3.1 掩模板设计
3.2 光刻图形化
3.2.1 图形化工艺流程
3.2.2 图形化工艺研究
3.3 膜系设计及分析
3.3.1 膜系设计
3.3.2 允差分析
3.4 小结
4 滤光片膜系的镀制及测试
4.1 单层膜稳定性实验
4.1.1 单层SiO_x薄膜稳定性实验
4.1.2 单层SiN_x薄膜稳定性实验
4.2 单层膜稳定性对膜系的影响
4.3 滤光片的镀制
4.4 样片的测试和分析
4.5 小结
5 微结构滤光片的制备
5.1 复形性探究
5.1.1 初步探究
5.1.2 复形性探究过程
5.1.3 复形性探究的结果
5.2 微结构滤光片的制备过程
5.3 结果及分析
5.4 小结
6 结论及展望
6.1 结论
6.2 展望
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文
致谢
【参考文献】：
期刊论文
[1]东北地区区域植被净初级生产力估算[J]. 王静,施润和,张璐. 遥感信息. 2016(05)
[2]星载小型线性渐变滤光片型成像光谱仪设计[J]. 李文杰,王成良,石斌斌,欧阳琰,彭赛阳. 红外. 2015(12)
[3]多光谱成像技术分析彩色艺术品的相关基础研究[J]. 王雪培,赵虹霞,李青会,刘卫东,苏伯民. 光学学报. 2015(10)
[4]地形对蚀变信息光谱影响研究与应用[J]. 韩晓静,邢立新,潘军,周彩彩,于一凡,董连英. 遥感技术与应用. 2014(01)
[5]微型化多通道滤光片光谱串扰模型的建立和评价[J]. 张建寰,刘婷婷,林珊. 光学技术. 2013(06)
[6]组合套镀法制备2.0～2.4 μm波段8通道微型集成滤光片[J]. 罗海瀚,李耀鹏,蔡清元,刘定权. 中国激光. 2012(11)
[7]多光谱阴道镜的微型化多通道滤光片设计[J]. 张建寰,张陈涛,卓勇,陈延平,林珊,孔令华. 光学精密工程. 2012(09)
[8]多光谱成像技术在生物医学中的应用进展[J]. 曾卫娟,李宗焕,文印宪,陈洪雷. 现代生物医学进展. 2012(05)
[9]用于液晶可调谐滤光片型多光谱成像仪的中继成像系统设计[J]. 付强,黄旻,景娟娟,相里斌. 光学学报. 2011(10)
[10]基于LCTF的多光谱面阵CCD相机的辐射定标[J]. 杜丽丽,易维宁,张冬英,黄红莲,乔延利,张渫. 光谱学与光谱分析. 2011(01)
博士论文
[1]集成滤光微结构的InGaAs短波红外探测器[D]. 王云姬.中国科学院研究生院（上海技术物理研究所） 2014
[2]微光学元器件的激光微纳制备及性能表征[D]. 林晓锋.吉林大学 2012
[3]微光学器件灰度掩模制作及应用技术的研究[D]. 谌廷政.国防科学技术大学 2004
[4]声光可调滤光片在光谱化学分析中的应用[D]. 田媛.吉林大学 2004
硕士论文
[1]折衍二元光学元件模压技术研究[D]. 虎将.西安工业大学 2015
[2]薄膜沉积过程中成核生长机理及调控的分子模拟研究[D]. 王易生.哈尔滨理工大学 2015
[3]PECVD制备光学薄膜折射率控制技术研究[D]. 薛俊.西安工业大学 2014
[4]PEVCD技术制作减反膜研究[D]. 张霄.西安工业大学 2010
[5]氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究[D]. 陈全海.西北师范大学 2007
[6]数字光刻及其制作微光学元件的模拟研究[D]. 段茜.四川大学 2006
本文编号：3638429
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