一种谐振式加速度计的稳定性分析方法

发布时间：2022-08-02 20:31

　　谐振式加速度计的振动稳定性,是加速度计的重要性能指标之一,对测量精度和可靠性有重要影响。本文以谐振式加速度计敏感结构的振动稳定性为研究对象,研究其结构参数对谐振梁振动稳定性的影响。首先分析谐振式加速度的敏感机理,构建谐振梁动力学数学模型;利用小参数摄动法求解谐振梁动力学数学模型的一般近似解,为谐振梁的振动稳定性提供理论基础;针对2种典型轴向力,求得谐振梁动力学模型稳定性区间的过渡曲线,定量分析谐振梁振动稳定性与加速度计结构参数之间的对应关系;依据稳定性分析结论对设计的加速度计进行1g静态翻滚验证实验。研究结果表明,稳定性分析为优化设计加速度计结构参数提供有效的理论依据。 

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【文章目录】：
1 谐振式加速度计工作原理
2 加速度计谐振梁的振动模型
3 谐振式加速度计的稳定性分析方法
    3.1 谐振梁振动模型的近似解
    3.2 谐振梁的稳定性分析
4 实 验
5 结 论


【参考文献】：
期刊论文
[1]基于特定谐波消除的多电平变换器最优基频调制[J]. 杨克虎,张建军,王誉博,李翔宇.  矿业科学学报. 2017(03)
[2]离心式过载加速度计检测装置[J]. 尹晓丽,常欢,聂振华,于亚云,秦朝俊.  计测技术. 2015(02)
[3]三明治型微加速度计温度漂移封装胶关系研究[J]. 戴强,苏伟,张德,彭勃,蒋刚.  太赫兹科学与电子信息学报. 2015(01)
[4]硅MEMS器件加工技术及展望[J]. 徐永青,杨拥军.  微纳电子技术. 2010(07)



本文编号：3669196