大相对口径离轴凸抛物面检测方法研究

发布时间：2022-10-06 11:05

　　大相对口径离轴凸抛物面镜的加工检测是光学加工检测的重要挑战之一。结合一块口径为Φ100 mm、离轴量为87.5 mm、曲率半径为500 mm的大相对口径离轴凸抛物镜,计算出母镜加工修磨量,并提出一种工艺球面补偿检测和离轴Hindle球检测相结合的检测方法,有效地避免了单独使用一种检测方法的缺陷,节约了加工成本并进一步提高了检测精度。最终加工完成的大相对口径离轴凸抛物面镜精度均方根（RMS）优于λ/40 （λ=632.8 nm）,表明该方法具有可行性,可广泛用于实际生产加工中。 

【文章页数】：7 页

【文章目录】：
1 引言
2 离轴凸抛物面的加工
3 离轴凸抛物面的检测
    3.1 工艺球面补偿检测光路设计
    3.2 离轴Hindle球检测光路设计
    3.3 检测光路的搭建
4 总结


【参考文献】：
期刊论文
[1]利用环形子孔径拼接法检测非球面反射镜[J]. 李江,杨朋利,李文婷,王芝,安静,冯婕,马爱秋,付晓庆.  应用光学. 2015(05)



本文编号：3686872