大口径光学非球面镜先进制造技术概述
发布时间：2022-10-15 13:52
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在现代光学制造工程中扮演着重要的角色。本文以大口径非球面镜的先进制造为主题,对大口径非球面镜的光学加工技术,特别是研磨抛光技术及其过程中所采用的面形检测方法进行了综述,特别总结了新一代先进光学制造的技术特征,展望了未来大口径非球面镜的制造策略。
【文章页数】：23 页
【文章目录】：
1 引言
2 大口径光学非球面制造技术概述
2.1 大口径非球面研抛技术
2.1.1 经典(传统)研抛技术
2.1.2 计算机控制小磨头加工技术
2.1.3 可控柔体光学制造技术
2.1.3. 1 应力工件变形加工技术
2.1.3. 2 应力盘加工技术
2.1.3. 3 气囊抛光技术
2.1.3. 4 磁流变抛光技术
2.1.3. 5 射流抛光技术
2.1.3. 6 离子束修形技术
2.2 大口径非球面检测技术
2.2.1 坐标测量技术
2.2.1. 1 摆臂式轮廓仪
2.2.1. 2 激光跟踪仪
2.2.1. 3 非球面轮廓测量仪LUPHOScan
2.2.2 几何光线测量技术
2.2.2. 1 刀口法
2.2.2. 2 哈特曼光阑法及夏克-哈特曼波前探测法
2.2.2. 3 结构光条纹反射技术
2.2.3 干涉测量技术
2.2.3. 1 非零位干涉测量
2.2.3. 1. 1 子孔径拼接测量技术
2.2.3. 1. 2 倾斜波干涉测量技术
2.2.3. 1. 3 红外干涉测量技术
2.2.3. 1. 4 亚奈奎斯特测量技术
2.2.3. 1. 5 剪切干涉测量技术
2.2.3. 2 零位干涉测量
2.2.3. 2. 1 无像差点法
2.2.3. 2. 2 补偿镜法
2.2.3. 2. 3 计算全息(CGH)
2.3 大口径非球面先进光学制造技术的发展特点与趋势
3 结束语
【参考文献】：
期刊论文
[1]非球面光学元件的面形检测技术[J]. 师途,杨甬英,张磊,刘东. 中国光学. 2014(01)
[2]光刻物镜光学零件制造关键技术概述[J]. 戴一帆,彭小强. 机械工程学报. 2013(17)
[3]数字刀口仪定量检验非球面光学元件面形[J]. 王小鹏,朱日宏,王雷,许荣国. 光学学报. 2011(01)
[4]自适应光学的眼科学应用[J]. 张雨东,姜文汉,史国华,凌宁,戴云,薛丽霞,余翔,饶学军. 中国科学（G辑:物理学 力学 天文学）. 2007(S1)
[5]一种大口径大非球面度天文镜面磨制新技术[J]. 崔向群,高必烈,汪达兴,朱永田,杨世海,朱政,王磊,夏自立. 光学学报. 2005(03)
[6]高科技时代的光学需求[J]. 潘君骅. 江苏科技信息. 2005(02)
[7]哈特曼-夏克传感器在非球面加工中的应用[J]. 饶学军,凌宁,王成,姜文汉. 光学学报. 2002(04)
[8]Hartmann-Shack传感器在光束质量测量中的应用[J]. 朱彬,许冰,胡渝. 激光杂志. 2001(02)
[9]光学望远镜的飞跃——Keck望远镜[J]. 沈祖耀. 天文学进展. 1985(04)
博士论文
[1]基于条纹反射法的大口径非球面反射镜面形检测技术研究[D]. 袁婷.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2016
[2]大口径非球面磁流变加工的关键技术研究[D]. 李龙响.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2016
[3]能动磨盘加工大口径非球面关键技术研究[D]. 刘海涛.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2014
[4]大口径凸非球面镜拼接测试技术研究[D]. 闫锋涛.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2014
[5]光学表面频段误差对成像质量的影响研究[D]. 曾雪锋.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2014
[6]基于多重倾斜波面的光学自由曲面非零位干涉测量关键技术研究[D]. 沈华.南京理工大学 2014
[7]大口径非球面反射镜组合加工技术驻留时间算法研究[D]. 刘振宇.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2013
[8]夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D]. 张金平.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2012
[9]采用平转动应力盘技术加工超大口径非球面的研究[D]. 罗霄.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2011
[10]曲面光学零件气囊抛光工艺参数优化及其相关技术研究[D]. 宋剑锋.哈尔滨工业大学 2009
硕士论文
[1]基于数控加工大口径非球面主镜的均匀去除方法研究[D]. 张伟.中国科学院研究生院(光电技术研究所) 2016
本文编号：3691429
【文章页数】：23 页
【文章目录】：
1 引言
2 大口径光学非球面制造技术概述
2.1 大口径非球面研抛技术
2.1.1 经典(传统)研抛技术
2.1.2 计算机控制小磨头加工技术
2.1.3 可控柔体光学制造技术
2.1.3. 1 应力工件变形加工技术
2.1.3. 2 应力盘加工技术
2.1.3. 3 气囊抛光技术
2.1.3. 4 磁流变抛光技术
2.1.3. 5 射流抛光技术
2.1.3. 6 离子束修形技术
2.2 大口径非球面检测技术
2.2.1 坐标测量技术
2.2.1. 1 摆臂式轮廓仪
2.2.1. 2 激光跟踪仪
2.2.1. 3 非球面轮廓测量仪LUPHOScan
2.2.2 几何光线测量技术
2.2.2. 1 刀口法
2.2.2. 2 哈特曼光阑法及夏克-哈特曼波前探测法
2.2.2. 3 结构光条纹反射技术
2.2.3 干涉测量技术
2.2.3. 1 非零位干涉测量
2.2.3. 1. 1 子孔径拼接测量技术
2.2.3. 1. 2 倾斜波干涉测量技术
2.2.3. 1. 3 红外干涉测量技术
2.2.3. 1. 4 亚奈奎斯特测量技术
2.2.3. 1. 5 剪切干涉测量技术
2.2.3. 2 零位干涉测量
2.2.3. 2. 1 无像差点法
2.2.3. 2. 2 补偿镜法
2.2.3. 2. 3 计算全息(CGH)
2.3 大口径非球面先进光学制造技术的发展特点与趋势
3 结束语
【参考文献】：
期刊论文
[1]非球面光学元件的面形检测技术[J]. 师途,杨甬英,张磊,刘东. 中国光学. 2014(01)
[2]光刻物镜光学零件制造关键技术概述[J]. 戴一帆,彭小强. 机械工程学报. 2013(17)
[3]数字刀口仪定量检验非球面光学元件面形[J]. 王小鹏,朱日宏,王雷,许荣国. 光学学报. 2011(01)
[4]自适应光学的眼科学应用[J]. 张雨东,姜文汉,史国华,凌宁,戴云,薛丽霞,余翔,饶学军. 中国科学（G辑:物理学 力学 天文学）. 2007(S1)
[5]一种大口径大非球面度天文镜面磨制新技术[J]. 崔向群,高必烈,汪达兴,朱永田,杨世海,朱政,王磊,夏自立. 光学学报. 2005(03)
[6]高科技时代的光学需求[J]. 潘君骅. 江苏科技信息. 2005(02)
[7]哈特曼-夏克传感器在非球面加工中的应用[J]. 饶学军,凌宁,王成,姜文汉. 光学学报. 2002(04)
[8]Hartmann-Shack传感器在光束质量测量中的应用[J]. 朱彬,许冰,胡渝. 激光杂志. 2001(02)
[9]光学望远镜的飞跃——Keck望远镜[J]. 沈祖耀. 天文学进展. 1985(04)
博士论文
[1]基于条纹反射法的大口径非球面反射镜面形检测技术研究[D]. 袁婷.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2016
[2]大口径非球面磁流变加工的关键技术研究[D]. 李龙响.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2016
[3]能动磨盘加工大口径非球面关键技术研究[D]. 刘海涛.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2014
[4]大口径凸非球面镜拼接测试技术研究[D]. 闫锋涛.中国科学院研究生院（光电技术研究所） 2014
[5]光学表面频段误差对成像质量的影响研究[D]. 曾雪锋.中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 2014
[6]基于多重倾斜波面的光学自由曲面非零位干涉测量关键技术研究[D]. 沈华.南京理工大学 2014
[7]大口径非球面反射镜组合加工技术驻留时间算法研究[D]. 刘振宇.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2013
[8]夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D]. 张金平.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2012
[9]采用平转动应力盘技术加工超大口径非球面的研究[D]. 罗霄.中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所） 2011
[10]曲面光学零件气囊抛光工艺参数优化及其相关技术研究[D]. 宋剑锋.哈尔滨工业大学 2009
硕士论文
[1]基于数控加工大口径非球面主镜的均匀去除方法研究[D]. 张伟.中国科学院研究生院(光电技术研究所) 2016
本文编号：3691429
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