激光干涉仪检测光路的快速校准方法

发布时间：2022-11-03 17:57

　　在使用激光干涉仪时,光路校准过程比较困难,需反复调整,耗时极长,严重依赖操作者的技术水平及经验,导致检测效率大大降低。通过对雷尼绍XL-80激光干涉仪检测的机床直线轴Y轴的光路进行分析,建立被测轴的齐次坐标变换误差模型,利用机床Y轴移动距离,再借助随着光点从光靶中心移动到光靶边缘的固定距离,求解与被测轴Y轴位置无关的激光发射器偏摆和俯仰角,以及间接得到激光器和反射镜位置偏移误差和光点在坐标系间变换的距离。通过建立的误差模型求解无法直接测量的分光镜与反射镜绕各自本身垂直底座轴线的偏摆误差,调整各部件,快速准确地完成光路校准。 

【文章页数】：6 页

【文章目录】：
0 前言
1 激光干涉仪检测系统
    1.1 检测设备
    1.2 激光干涉仪的工作原理
2 光路的误差模型
    (1)以激光器发射点为坐标中心,以激光头的理想矩阵为单位阵:
    (2)当激光头发射的光束到达分光镜坐标系O1-X1Y1Z1的理想矩阵为
    (3)当激光头发射的光束透过分光镜到达反射镜的坐标系O2-X2Y2Z2理想矩阵为
    (4)分光镜处光点的坐标为
    (5)反射镜处光点的坐标为
3 实验
4 调整方案
    (1)将偏上光路调回中心
    (2)将偏右光路调回中心
5 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]双频激光干涉仪测量竖直轴光路调整实践[J]. 吴世俊,樊洁,黄志阳,郝翔.  计量与测试技术. 2016(11)
[2]浅谈双频激光干涉测量系统中的常见误差[J]. 陈庭容.  山东工业技术. 2016(14)
[3]激光干涉仪的一种快速精准校光方法——等比例偏幅调整法[J]. 史佳兆.  制造技术与机床. 2014(05)
[4]利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测[J]. 曹利波.  红外与激光工程. 2008(S1)
[5]激光干涉仪使用技巧[J]. 魏纯.  计量与测试技术. 2007(10)
[6]激光干涉测量中的误差分析与补偿[J]. 刘君,穆海华,孙业业,周云飞.  机床与液压. 2006(09)
[7]基于激光干涉仪的数控机床几何误差检测与辨识[J]. 张敏.  机械工程师. 2006(09)
[8]双频激光干涉仪技术现状与发展[J]. 所睿,范志军,李岩,张书练.  激光与红外. 2004(04)
[9]数控机床误差的激光干涉仪自动瞄准测量及补偿技术研究[J]. 张虎,周云飞,唐小琦,陈吉红,师汉民.  机械工程学报. 2002(09)



本文编号：3700359