基于平面波Offner补偿器检验非球面的光学系统设计

发布时间：2022-12-09 20:47

　　针对米级大口径非球面,从平面波Offner零位补偿器检验光路的三级像差理论公式出发,推导计算了补偿器与被检镜面口径比不同时的光学规化参数,经过光学软件仿真,获取不同口径比下6种曲率半径非球面的最大口径和最大相对孔径。结果表明随着口径比的减小,平面波补偿检验非球面的相对孔径能力随之减弱,对于不同相对孔径的非球面检验,可选择最小口径比来达到检测要求。针对口径为720mm的凹非球面镜检验,基于工程可行性,采用口径比α₁=0.2的Offner补偿器,获得方均根（RMS）为0.0033λ的设计,实际检验测量中RMS为0.019λ,符合对该非球面的检验要求。 

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【文章目录】：
1 引言
2 Offner补偿器初始光路规化算法
3 平面波Offner补偿光路的光学设计
    3.1 口径比为0.2时平面波Offner补偿光路的规化求解和光学设计
    3.2 不同口径比时平面波Offner补偿光路的光学设计
4 平面波补偿光路检验非球面实验
5 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]折反射式零位补偿检验(续)[J]. 张珑,胡文琦,郑列华,郝沛明.  光子学报. 2016(12)
[2]干涉零位补偿检验研究[J]. 姚劲刚,张金平,郑列华,郝沛明.  光学学报. 2015(06)
[3]非球面光学零件的应用[J]. 李池娟,孙昌锋,席喆,杨晓庆.  激光与红外. 2013(03)
[4]Offner补偿器的结构设计与装调[J]. 陈旭,刘伟奇,康玉思,冯睿,魏仲伦,柳华,苗二龙.  光学精密工程. 2010(01)
[5]反射镜补偿检验[J]. 郝沛明,付联效,袁立银,李韦韦.  光学学报. 2006(06)
[6]φ2.16米非球面主镜的二维哈特曼检验[J]. 高必烈,李德培,潘君骅.  光学学报. 1985(10)

硕士论文
[1]大相对孔径无焦非球面系统检测方法研究[D]. 伍凡.电子科技大学 2003



本文编号：3715348