基于PSD的高精度微位移测量系统研究

发布时间：2023-03-04 12:01

　　为实现对古斯-汉欣位移的精确测量,设计了一个以一维PSD为核心的位移测量系统。根据PSD的原理和特性设计了后续的信号处理电路,STC89C52通过12位AD芯片TLC2578采集PSD输出的位置信号,经过处理传输到液晶LCD1602,再通过USB接口传输到上位机,以两种方式进行位移值显示,从而完成测量。实验结果表明,该系统在中心的测量精度较高,边缘的测量精度较低,测量误差在±10μm内。设计的系统不仅可用于对古斯-汉欣位移的测量,也可以用于其他微位移测量的实验中。

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【文章目录】：
1 引言
2 PSD工作原理
3 位移测量系统
    3.1 系统设计
    3.2 运算放大电路
    3.3 A/D转换电路
    3.4 单片机及USB供电系统
    3.5 液晶显示
4 软件系统
5 实验及结果分析
6 结论



本文编号：3754255