一种(10 -1 ～10 -10 )Pa·m 3 /s标准气体流量计的设计

发布时间：2023-04-02 18:10

　　为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10^-1～10^-10)Pa·m³/s的标准气体流量计。装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量。采用容积约为5和0.1 L的真空室作为定容室,同时为流导元件入口提供一定压力的气体;仅用两台电容薄膜真空计作为参考标准测量真空室气体压力,通过PLC触摸屏或计算机进行测量数据采集及运行控制;采用激光在铂金片上打孔并进行真空镀膜的工艺获得10^-10 m³/s流导元件。设计的装置外形尺寸不超过500 mm×400 mm×500 mm,主体重量小于35 kg,提供的流量范围为(10^-1～10^-10) Pa·m³/s,具有成本低、操作方便、便携等优点。

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【文章目录】：
1 标准气体流量计设计[6-7,15-16]
    1.1 定容法流量模块
    1.2 流导法流量模块[7,15]
    1.3 供气与抽气模块[11-17]
    1.4 保温模块[15-20]
    1.5 控制模块
2 结论



本文编号：3779697