基于光强实时反馈控制和同步校准的波长调谐移相干涉系统

发布时间：2023-04-22 12:29

　　波长调谐移相干涉技术是通过改变光波长来计算相位的。为了减少可调谐激光器在变波长进行移相时光功率的随机变化对相位计算产生的误差,本文提出了一套光强实时反馈控制系统和同步校准方案。首先分析了光强在某一范围内的随机变化产生测量误差,并选用合适的光电检测设备搭建了一套光强控制系统。该系统能够将光信号转化为电信号,并通过PID来实现对光强的控制。实验结果表明,本系统能够将光强的变化范围控制在±0.002mW以内,其响应速度达到600kHz,已远远超过干涉仪CCD的取图速度。最后,对口径为50mm的光学元件进行表面形貌检测,加入本控制系统后,面形精度的测量指标PV值和RMS值分别提高了1.53×10^-2λ和2.43×10^-3λ,表明本系统在高精度的光学元件检测领域具有重要的实用价值。

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【文章目录】：
1 引言
2 光强变化产生的误差及仿真分析
    2.1 光强变化引起的相位误差
    2.2 误差仿真及分析
3 系统设计及分析
4 实验结果
5 结论



本文编号：3797642