径向偏振光瞳滤波共焦拉曼光谱显微系统研制

发布时间：2023-04-29 19:45

　　针对共焦拉曼系统空间分辨力提升的迫切需求,研制了一套径向偏振光瞳滤波共焦拉曼光谱显微系统(RPCRS)。该系统利用径向偏振光发生器(S波片)将激光器发出的线偏振光转换为径向偏振光;然后,利用光瞳滤波器对径向偏振光进行调制,从而压缩拉曼激发光斑;最后,利用共焦针孔消除焦点外位置的拉曼散射光,进一步提升共焦拉曼显微系统的空间分辨力。该系统具有较高的空间分辨力和横向灵敏度。以周期性刻线和标准台阶作为测试样品进行实验,实验结果表明,RPCRS的空间分辨力可以达到240 nm,横向灵敏度相比普通拉曼共焦系统提升了46.5%,测量标准不确定度为18.87 nm。该系统可用于高空间分辨共焦拉曼成像。

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【文章目录】：
0 引 言
1 成像原理
2 成像系统参数优化
    2.1 光瞳滤波器优化
    2.2 最佳针孔尺寸优化
3 光谱显微系统构建
4 成像性能测试及不确定度分析
    4.1 空间分辨力测试
    4.2 横向灵敏率测试
    4.3 横向测量不确定度
5 结 论



本文编号：3805625