激光干涉仪在XY工作台测量中的应用

发布时间：2023-11-11 16:41

　　激光干涉位移测量技术是目前位移测量领域的主流技术。其具有分辨率高、测量速度快、溯源好的特点。利用激光干涉位移测量技术,可以实现工作台的高精度测量。首先介绍了目前主要的激光干涉位移测量技术,并对干涉仪的特点进行了分析,最后介绍了激光干涉位移测量在XY工作台定位精度、垂直度测量的应用。

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【文章目录】：
1 激光干涉仪的原理
    1.1 单频激光干涉仪
    1.2 双频激光干涉仪
2 SJ6000激光干涉仪在XY工作台性能指标测量中的应用
    2.1 XY工作台位移精度测量
    2.2 XY工作台垂直度测量
        2.2.1 XY工作台垂直度测量原理
        2.2.2 测量步骤
        2.2.3 垂直度测量所用组件
        2.2.4 垂直度测量应用
3 影响测量精度的因素
    3.1 环境误差
    3.2 空气波动和机器振动
    3.3 斜率误差
    3.4 光学反射镜的误差
    3.5 光学器件的清洁
4 结束语



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