炫晶板平面度高精度实时在线测量系统设计

发布时间：2024-02-29 05:15

　　开发一款炫晶板平面度高精度测量系统,其可以利用较少的硬件设备,更少的人力资源完成平面度测量工作,解决目前人工平面度检测耗时长、精度低的问题。通过实验平台的大量重复性实验及本系统与三坐标测量仪的对比实验,证明了该系统稳定可靠、操作灵活、精度高,完全满足课题提出的要求。

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【部分图文】：

图1检测平台俯视图

检测平台地面由150mm厚的大理石组成,在其四角安装铝合金支架用于支撑传感器。在顶板上方等距安装传感器,传感器的布局采用九点式分布的方式。检测平台俯视图如图1所示。传感器固定在待测炫晶板正上方,并且对底部大理石板材进行三坐标标定,通过修正底面大理石数据,得到理想的参考平面,使得....

图2检测平台主视图

传感器固定在待测炫晶板正上方,并且对底部大理石板材进行三坐标标定,通过修正底面大理石数据,得到理想的参考平面,使得最终拟合平面的误差最小。检测平台主视图如图2所示,待测炫晶板俯视图如图3所示。本系统选择松下公司的HG-C1050激光位移传感器,测量中心距激光发射点50mm,测量....

图3待测炫晶板俯视图

本系统选择松下公司的HG-C1050激光位移传感器,测量中心距激光发射点50mm,测量范围±15mm,每个传感器控制误差在30μm以下。传感器结构如图4所示。图4传感器结构

图4传感器结构

图3待测炫晶板俯视图程序主界面如图5所示,其主要分为串口与数据显示两部分,首先需要打开对应串口与传感器正确连接,传输正常后再开始测量,对传感器发出指令并接收数据进行后续处理,最后在窗口显示数值。点击停止测量后串口仍然保持通讯状态,数据显示textbox为最后一次测量的数值,点击....

本文编号：3914554