大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析

发布时间：2017-07-08 11:08

  本文关键词：大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析

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【摘要】：尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该误差对刻划刀具运动轨迹的影响,并使用双频激光干涉仪测量刻划过程中刻划刀具运动的直线度误差。测量结果表明,金刚石刀具系统单向行程400 mm时,该误差约为200 nm,小于使用石英导轨承载刀具系统时的误差,同时在高频振动方面有明显改善。刻制一段79 gr/mm,400 mm×500 mm的中阶梯光栅,观察其衍射光斑并使用照度计检测得其不同位置杂散光强度为0.2‰~5‰,实验结果表明使用气浮导轨承载刻划刀具可以满足光栅刻划精度要求。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统
【基金】：国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： 1引言衍射光栅是一种具有周期性浮雕结构的特种分光元件,广泛应用于各类光谱仪器之中[1-3]。衍射光栅的制作方法主要分为机械刻划与全息曝光两种。机械刻划是由安装有金刚石刻刀的刀架相对于光栅基底进行等速往复运动,在光栅基底表面挤压出一系列等间距的直线刻槽[4],此种刻划

【参考文献】

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本文编号：534286