单镜支撑结构对镜面面形影响的接触有限元分析

发布时间：2017-07-15 12:27

  本文关键词：单镜支撑结构对镜面面形影响的接触有限元分析

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【摘要】：单镜支撑技术是影响光刻机光刻精度的关键因素之一。为了分析某光刻物镜单镜支撑结构对镜面面形的影响,采用接触有限元分析的方法对某光刻物镜系统单镜支撑结构进行分析。由于单镜还受到预紧力和夹紧结构的影响,分析时建立预紧力大小不同,夹紧结构刚度不同,支撑结构刚度不同的有限元模型,计算镜体的自重变形,并由此计算镜面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS)。分析结果表明,当支撑结构特征尺寸D≥0.6 mm时,镜面面形精度对支撑结构特征尺寸D的稳定性最好,这为以后不同口径光刻机物镜系统的单镜支撑技术提供参考。
【作者单位】： 长春理工大学机电工程学院;
【关键词】： 单镜 支撑结构 面形 精度
【基金】：吉林省科技发展计划项目(20100519)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言随着集成电路、半导体元器件、光电子器件、光学器件发展的需要,人们对光刻机的分辨率要求越来越高。光刻机分辨率的提高依赖于投影物镜的面形精度。例如我们所熟知的193nm光刻机的投影物镜对面形精度的要求达到了(1~2)nm均方根值(RMS),部分元件的要求更高。单镜支撑系统

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本文编号：543885