光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

发布时间：2017-07-16 23:22

  本文关键词：光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

  更多相关文章： 测量 光栅横向剪切干涉 系统误差 Zernike多项式 光刻投影物镜

【摘要】：在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对其大小与被测数值孔径(NA)、衍射光会聚点间距d、剪切率s之间的关系进行了定量分析。几何光程彗差和像散、探测器倾斜像散和离焦是剪切干涉差分波前中最主要的误差项,波前重建后主要导致几何光程球差和彗差,探测器倾斜彗差。重建波前误差随着NA、d的增加而迅速增大,随着s的减小而增大。特别是小剪切(s≤0.05)时,波前重建对系统误差有增益效应,重建波前的系统误差值远大于差分波前。小剪切情况下,当d2μm、NA0.1时,重建波前误差的均方根值远大于1nm。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 光栅横向剪切干涉 系统误差 Zernike多项式 光刻投影物镜
【基金】：国家自然科学基金重点项目(60938003、61205102、61275207)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言剪切干涉仪是一种典型的干涉仪结构,具有结构简单、准共光路、不需要标准参考元件等优点[1-3]。光栅横向剪切干涉仪是一种使用光栅作为0508006-1分光元件的剪切干涉仪,其在很多领域得到了广泛的应用,如光束准直性检测、光学系统波像差测量和光学元件表面面形检测等[2]。

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本文编号：551042