基于小物镜系统的热像差影响因素分析

发布时间：2017-07-17 10:03

  本文关键词：基于小物镜系统的热像差影响因素分析

  更多相关文章： 光学设计 光机热集成分析 热像差 有限元法 Zernike多项式 折射率均匀性 热载

【摘要】：光机热集成分析是光机结构设计中的重要环节,对光学系统像质的预测与补偿有着重要的参考价值。针对小物镜系统,进行光机热集成分析,结果表明该系统产生的热像差较大,影响系统光学性能,其中温度升高导致折射率变化引入的系统热像差较大;结构热变形引入的系统热像差较小,可以忽略;镜片与支撑结构之间的导热、上下窗口的空气扰动、机械结构外表面的环境对流也会存在一定影响,但影响较小。由此可知系统热像差的主要影响因素是热载的大小,设计过程中减少透镜厚度及材料吸收率,降低系统热载,是减小光学系统热像差最为有效的途径。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【关键词】： 光学设计 光机热集成分析 热像差 有限元法 Zernike多项式 折射率均匀性 热载
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02205)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言近年来,随着集成电路工业的迅猛发展,要求光刻机分辨率与生产率不断提高,离轴照明的采用及曝光剂量的增加是满足高分辨率及高生产率的两种重要手段[1]。但上述方式的采用不可避免地引入另一种导致像质劣化的现象,称为热像差。这就要求在光刻物镜设计、制造及装调各个环节

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本文编号：553033