原子力显微镜探针批量制备工艺分析

发布时间：2017-07-18 03:21

  本文关键词：原子力显微镜探针批量制备工艺分析

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【摘要】：为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。
【作者单位】： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;山东师范大学物理与电子科学学院;
【关键词】： 原子力显微镜(AFM) 探针 绝缘衬底上的硅(SOI) 自锐式 曲率半径
【基金】：国家自然科学基金项目(61573346,61104226) 中国科学院青年促进会人才项目(2014278);中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室资助项目 江苏省科技支撑计划工业部分资助项目(BE2013056)
【分类号】：TH742
【正文快照】： 0引言原子力显微镜(AFM)是利用AFM探针观察待测样品表面微观形貌的实验测试仪器,该表征技术是近年来表面成像技术中重要的进展之一[1-3],AFM探针是AFM的核心部件,当AFM探针的纳米针尖靠近样品时,针尖顶端原子与待测样品的表面原子间产生的作用力会引起AFM探针悬臂的弯曲,偏离

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 朱杰,孙润广;原子力显微镜的基本原理及其方法学研究[J];生命科学仪器;2005年01期

【共引文献】

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【二级参考文献】

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1 陈存华,刘建国,郑家q，

本文编号：555857