压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术

发布时间：2017-07-18 05:09

  本文关键词：压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术

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【摘要】：微位移装置是指在外力或者电场、磁场等作用下,直接或间接由微结构杠杆放大产生精密微量移动,实现精密定位的装置,例如采用压电陶瓷的逆压电效应、由电压控制产生微位移蠕动。以干涉仪中移相器为典型微位移装置代表,总结多年来科研工作中对微位移装置伸长量的测量与在线标定方法,实现了干涉仪中步长为λ/8(λ=632.8 nm)的准确移相;通过研究基于电容器件的位移反馈,实现了分辨率优于10 nm的精密定位。
【作者单位】： 南京理工大学电子工程与光电技术学院;
【关键词】： 微位移 精密光学测量 压电陶瓷 反馈控制 移相器 干涉
【基金】：国家自然科学基金(61377015) 国家重大仪器专项基金(2013YQ150829)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言 采用电致伸缩或磁致伸缩原理,在外部电磁场作用下,产生微 米级、纳米级位移定位,并在一定的负载下线性稳定伸缩,由此构成的微位移装置,在细胞注射、光学精密调焦、光纤耦合、精密数控机床、大规模集成电路制造、精密光学测量等领域,均有着广泛的需求与应用价值。 件[

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本文编号：556103