原子力显微术研究进展

发布时间：2017-07-18 17:36

  本文关键词：原子力显微术研究进展

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【摘要】：原子力显微术是微纳米尺度实空间形貌成像与结构表征的关键技术之一。近些年,原子力显微术衍生发展出了一系列令人瞩目的功能化探测模式和新技术。文章从以下两个方面论述了原子力显微术的前沿进展:(1)原子力显微术的功能化探测模式及其在微纳米尺度物性研究与测量以及微纳加工等领域的应用;(2)原子力显微术自身在更高精度、更高分辨率、更快速度、更多功能等方面的进展及在基础和应用研究领域中的应用。文章还展望了原子力显微术的下一步发展方向和正在不断扩展的研究领域。
【作者单位】： 国家纳米科学中心中国科学院纳米标准与检测重点实验室;
【关键词】： 先进原子力显微术 功能化微悬臂 纳米尺度表征与测量
【基金】：国家自然科学基金(批准号:21173058/B030506)资助项目 中国科学院“引进杰出技术人才”(技术百人计划)项目,中国科学院“卓越青年科学家”项目,中国科学院科研装备研制项目
【分类号】：TH742
【正文快照】： 1引言原子力显微术(atomic force microscopy,AFM)是从20世纪80年代发展起来的一种表面探测技术,其基本原理是利用带针尖的微悬臂探测针尖与样品间相互作用的大小和性质会随着针尖与样品间距离的变化而变化,从而可以获得样品 的不同信息,实现检测目的。AFM凭借其检测对象广泛

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本文编号：558959