恒星模拟器成像系统关键部件的研制

发布时间：2017-07-18 21:16

  本文关键词：恒星模拟器成像系统关键部件的研制

  更多相关文章： 非球面 数控抛光 面形精度 工艺参数 干涉截止滤光膜

【摘要】：为了满足恒星模拟器成像系统的要求,针对系统中的关键部件,本文以Preston原理为基础,对非球面H-FK61光学玻璃元件的加工工艺进行了研究。通过对研抛过程中各项工艺参数的分析,经过反复实验优化,解决了H-FK61光学玻璃材料质软且脆、不耐高温、不易加工的问题。其次,本文以Ti_3O_5和Si O2为高低折射率材料,利用高反射膜堆叠加和添加匹配层进行优化设计的办法,设计了干涉截止滤光膜。在薄膜制备过程中,通过对各膜层残余蒸镀的研究与分析,解决了薄膜光谱曲线向长波方向漂移和通带透过率下降的问题。经检测,Φ76mm H-FK61光学玻璃元件非球面面形精度为0.4322μm,干涉截止滤光膜在450nm-800nm波段平均透过率为95.7%,300nm-420nm、850nm-1200nm波段平均反射率分别为99.7%和99.6%,各项数据均符合部件的设计要求。
【关键词】：非球面 数控抛光 面形精度 工艺参数 干涉截止滤光膜
【学位授予单位】：长春理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2015
【分类号】：TH74
【目录】：

• 摘要4-5
• ABSTRACT5-8
• 第一章 绪论8-12
• 1.1 引言8-9
• 1.2 研究现状9-11
• 1.2.1 非球面加工技术的研究现状9-10
• 1.2.2 滤光膜的研究现状10-11
• 1.3 课题研究的主要内容11-12
• 第二章 数控非球面加工与光学薄膜的理论基础12-21
• 2.1 非球面基础知识12-14
• 2.1.1 非球面分类12
• 2.1.2 非球面方程12-13
• 2.1.3 最佳比较球面与最大非球面度13-14
• 2.2 CCOS技术的理论基础14-16
• 2.2.1 CCOS技术的基础理论方程14-15
• 2.2.2 去除函数的推导15
• 2.2.3 驻留函数的计算15-16
• 2.3 光学薄膜的基础理论16-21
• 2.3.1 对称膜系的等效层17-19
• 2.3.2 高反射膜堆反射带宽的展宽19-21
• 第三章 非球面H-FK61光学玻璃元件的制备与检测21-37
• 3.1 非球面H-FK61光学玻璃的研抛工艺研究21-28
• 3.1.1 铣磨过程工艺参数研究21-23
• 3.1.2 抛光过程及其工艺参数研究23-28
• 3.2 非球面H-FK61光学玻璃元件面形检测技术28-30
• 3.3 Φ76mm非球面H-FK61光学玻璃元件的加工与检测30-36
• 3.3.1 非球面H-FK61光学玻璃元件的参数要求31
• 3.3.2 DIFFSYS Version软件的模拟仿真31-32
• 3.3.3 非球面的数控铣磨成型32-33
• 3.3.4 非球面的抛光工艺33-36
• 3.4 测试结果分析36-37
• 第四章 干涉截止滤光膜的研制37-48
• 4.1 薄膜材料的选择37-38
• 4.2 膜系设计38-39
• 4.3 干涉截止滤光膜的制备39-42
• 4.3.1 薄膜沉积设备39-41
• 4.3.2 工艺参数的确定41
• 4.3.3 干涉截止滤光膜制备的工艺流程41-42
• 4.4 干涉截止滤光膜的光谱测试与分析42-48
• 4.4.1 光谱性能测试与分析42-46
• 4.4.2 环境测试46-48
• 第五章 总结与展望48-50
• 5.1 总结48-49
• 5.2 展望49-50
• 致谢50-51
• 参考文献51-52

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本文编号：559806