光学元件磨削加工亚表面损伤检测研究

发布时间：2017-07-19 03:07

  本文关键词：光学元件磨削加工亚表面损伤检测研究

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【摘要】：基于氢氟酸刻蚀对光学元件亚表面裂纹影响的刻蚀模型,将化学刻蚀、逐层抛光技术和激光共聚焦扫描技术相结合,提出了一种磨削加工光学元件亚表面损伤的检测方法。实验证实该方法得到的亚表面损伤深度与公认的亚表面损伤预测模型的预测结果吻合性较好,是一种可靠的亚表面深度检测方法。
【作者单位】： 厦门大学机电工程系;华侨大学机电及自动化学院;
【关键词】： 磨削 亚表面损伤 蚀刻 抛光 检测
【基金】：国家自然科学基金(51275433) 福建省自然科学基金(2012J05098)
【分类号】：TH74;TG580.6
【正文快照】： (Received 22 May 2014,accepted 15 August 2014)1引言随着高功率固体激光系统能量的不断提升和迅猛发展,其对于光学元件质量要求越来越高。光学元件在磨削加工过程中会产生大量的亚表面损伤,这些损伤将直接降低光学元件的强度、长期稳定性、成像质量、镀膜质量和抗激光损伤

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1 田玉s，

本文编号：560921