基于相位恢复的光学元件面形检测技术研究

发布时间：2017-07-25 15:08

  本文关键词：基于相位恢复的光学元件面形检测技术研究

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【摘要】：利用标量衍射的角谱理论,研究了基于两幅光强分布的相位恢复算法,并将此算法应用到光波的波前及光学元件面形的检测中。实验研究了球面光波波前的相位恢复及面形检测,给出了恢复波前与理想波前之间的偏差,采用求Zernike系数的广义逆矩阵的方法,用程序实现了光学元件面形的Zernike拟合。
【作者单位】： 空军工程大学理学院;西安应用光学研究所;
【关键词】： 角谱理论 相位恢复 面形 Zernike拟合
【基金】：陕西省自然科学基金(2010JM8012)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言相位恢复测量是一种新兴的测量手段,是相位恢复技术在镜面测量领域的应用[1-6]。它通过采集被测镜反射或者透射的光场强度,由相位恢复算法计算出被测镜的面形分布。相位恢复测量系统通常由照明光源、被测镜以及图像采集器(如CCD)组成。与干涉测量相比,它的结构简单(无需参

【参考文献】

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本文编号：571893