梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响

发布时间：2017-07-26 04:13

  本文关键词：梳齿分布结构对静电驱动二维微扫描镜机械转角的影响

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【摘要】：为增大静电驱动二维微扫描镜的机械转角,基于非线性动力学理论研究了不同梳齿结构对其振幅的影响,理论上得到发散型梳齿分布相较于平行型梳齿分布具有更大的机械转角。此外,采用绝缘体上硅(SOI)加工工艺设计并制作了这两种结构的微扫描镜,并对其相关特性进行了测试。测试结果表明:在相同的驱动电压下,发散型结构始终都比平行型结构具有更大的机械转角,与仿真结果基本一致;当加载驱动电压为42 V的方波信号时,发散型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角可以达到12.3°、13.49°,而平行型结构扫描镜的可动框架和镜面的最大机械转角则为10.25°、11.68°。
【作者单位】： 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室;西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室;西北工业大学深圳研究院;
【关键词】： MEMS 扫描镜 非线性动力学 梳齿分布 大转角
【基金】：国家自然科学基金项目(51375399,51375400) 深圳市财政委员会2012年第四批市新一代信息技术产业发展专项资金基础研究计划项目(JCYJ20120614154203639) 西北工业大学基础研究基金项目(JCY20130119) 航空科学基金项目(2013ZC53036)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 微扫描镜作为一种重要的光学元件,可以使入射光束的传播方向发生改变,尤其是二维扫描镜,可以实现光束在二维区域的面扫描,可以广泛的应用于激光成像、印刷、数据存储、条码识别、光通信、显示监控和生物医学等领域[1-8]。静电驱动微扫描镜具有结构简单、体积较小,且与IC工艺兼

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本文编号：574684