高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证

发布时间：2017-07-26 20:08

  本文关键词：高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证

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【摘要】：为了提高精密定位平台的精度和行程,设计了一种新型的气动伺服定位平台。以金属波纹管为独立执行机构,采用有限元法设计了气浮导轨。以气浮导轨支撑,研究无摩擦条件下的较大行程的精密控制。对波纹管的机械特性进行分析,结合实验数据形成的迟滞初载曲线,进行参数辨识,确定基本迟滞算子的阈值和权值,建立了基于PI模型的系统迟滞模型,并对模型进行了验证。结合建立的系统迟滞模型,采用变化速率为0.5 V/s和5 V/s的锯齿波进行实验,结果表明:系统的迟滞模型输出很好地逼近了系统输出;开环情况下,实际逼近误差慢速信号输入逼近小于10%m,快速信号输入逼近小于20%m,其性能上能够满足高精密定位平台的精度要求。
【作者单位】： 青岛理工大学自动化工程学院;北京理工大学自动化学院;
【关键词】： 高精密定位平台 波纹管 迟滞特性 精度
【基金】：流体动力与机电系统国家重点实验室开放基金项目(JZKF-201214)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 0前言精密定位是精密器件加工设备中的关键技术,在IC芯片制造、光学扫描检测、大面板液晶显示器制造等领域得到广泛应用。目前运动控制平台的驱动机构多数采用电动驱动,按照驱动模式可以分为间接驱动和直接驱动。间接驱动借助滚轴丝杠等传动机构将电机转动转换为直线运动;直接

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本文编号：578100