楔形导模共振滤波片的光谱分析

发布时间：2017-07-31 03:06

  本文关键词：楔形导模共振滤波片的光谱分析

  更多相关文章： 光谱学 导模共振滤光片 楔形波导层 离子束刻蚀

【摘要】：针对通信波段设计并制作了楔形波导层的导模共振滤波片(GMRF),分析并研究了其光谱特性。采用三角掩模板的方法进行离子束刻蚀,刻蚀一定次数后获得楔形波导层。光栅线条方向分为平行于和垂直于楔形波导层变化的方向。实验结果表明,对于两种结构,共振峰的位置与滤波片上的位置呈近似线性关系。光栅刻槽平行于楔形层变化的方向时共振峰的半峰全宽较光栅刻槽垂直于楔形层变化的方向时大。最终在20mm的样品上,获得了线性渐变的Ta_2O_5楔形薄膜,其反射谱在1560~1600nm范围内近似于线性变化。
【作者单位】： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室教育部光学仪器与系统工程中心;
【关键词】： 光谱学 导模共振滤光片 楔形波导层 离子束刻蚀
【基金】：国家重点基础研究发展计划(2015CB352001) 国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ14014704) 国家自然科学基金(61378060,61205156) 上海市科学仪器重点项目(14142200902)
【分类号】：TH74;O433
【正文快照】： 光谱仪能获取物质的光信息并分析检测物质中的元素,在科研、食药和医学检测等领域应用广泛。微型光谱仪由于体积小、结构简单、方便携带,受到人们的青睐。在光谱仪中有多种色散元件,比如传统的衍射光1011001-1栅和棱镜。目前大多数微型光谱仪仍利用光的干涉原理,用光栅将复杂

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 张程;余森江;张永炬;王艳;周红;;环状楔形铁薄膜的褶皱形貌研究[J];科技信息;2011年22期

2 范威;刘平香;;楔形理想波导中球体散射的镜像方法[J];应用声学;2014年04期

3 熊长新;;微楔形镜加工技术研究[J];光学技术;2007年S1期

4 陈兴威;李瑞东;;量子楔形的隧道谱之理论分析[J];黑龙江交通科技;2007年01期

5 史永臣,姜冠亭,杨士莪;声波在过渡区楔形海域的传播特性研究[J];黑龙江大学自然科学学报;2001年01期

6 庞梦如;余森江;;硅油基底上楔形钴薄膜的褶皱形貌研究[J];科技信息;2012年36期

7 ;[J];;年期

中国硕士学位论文全文数据库 前3条

1 王丽娟;ASF模式楔形波的激光超声实验研究[D];南京理工大学;2010年

2 张杰;楔形样品的激光光热辐射检测技术研究[D];苏州大学;2012年

3 杨柳青;楔形金属腔内原子的自发辐射[D];山西师范大学;2014年

，

本文编号：597177