紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制

发布时间：2017-07-31 17:26

  本文关键词：紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制

  更多相关文章： 测量与计量 光谱薄膜测厚仪 紧凑 逆问题 干涉 不确定度

【摘要】：为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分Si O2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms。结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义。
【作者单位】： 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室;
【关键词】： 测量与计量 光谱薄膜测厚仪 紧凑 逆问题 干涉 不确定度
【基金】：湖北省科技支撑计划资助项目(2014BEC052) 湖北省自然科学基金资助项目(2015CFB278) 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ160002)
【分类号】：TH821.1
【正文快照】： 引言随着半导体技术的进步,薄膜日益广泛地应用于微电子器件、微光机电系统和光学元器件等领域[1]。薄膜厚度是显著影响薄膜力学、电磁和光电等性能的一个重要参量[2],因此在薄膜制备和分析应用中,薄膜厚度的精确测量显得尤为重要。薄膜的测量方法主要分为非光学方法和光学方

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 姚景顺，，毕文平，钟生新;在线薄膜测厚仪[J];电子技术;1995年01期

2 ;[J];;年期

本文编号：600290