平面手征结构的旋光度精密测量
本文关键词:平面手征结构的旋光度精密测量
【摘要】:基于精密步进电机和光纤光谱仪的光学测试系统,优化设计了一种精确测量手征结构样品旋光度的方案。对手征样品旋光性的理论分析结果表明,由于周期性手征结构样品制作过程中90°旋转对称性被打破,线偏振光经过样品后偏振面旋转角度与入射光的偏振面角度有关。实验测量结果直接证明了理论分析的正确性。利用设计的光学测试系统对采用电子束光刻技术制作的周期性平面手征结构样品进行旋光度测量的结果表明,样品在波长为633nm处具有0.05°的旋光度,很好证明了研制的周期性平面手征结构具有一定的旋光性。
【作者单位】: 宁波大学信息科学与工程学院;宁波大学理学院微电子科学与工程系;中国科学院微电子研究所;
【关键词】: 平面手征结构 旋光性 电子束光刻
【基金】:国家自然科学基金(61078060) 宁波市光电材料与器件创新团队(2009B21007) 宁波大学优秀学位论文培育基金(PY2013012) 宁波大学研究生科研创新基金(G14064)资助项目
【分类号】:O436.3;TH744.1
【正文快照】: 1引言周期性排列的手征结构单元对左旋圆偏振光 和右旋圆偏振光的光学响应不同,从而使得平面手征结构具有了旋光性[1,2]。自然界中物质的旋光性都很小,而纳米技术的发展使得用周期性亚 波长平面手征结构来控制光的偏振状态成为可能。人工制作的平面手征结构可以具有很强的旋
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,本文编号:602628
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