一种3-RSS微动并联平台的误差分析
发布时间：2017-08-04 14:04
本文关键词：一种3-RSS微动并联平台的误差分析
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【摘要】：微动并联平台应用于微芯片装配、光纤对接、细胞操作具有亚微米运动精度的工作场合,因此必须保持很高的精度。但是实际微动并联平台存在着各种制造误差,这些误差会对微动并联平台的精度产生影响。以一种3-RSS微动并联平台为例,考虑到杆长误差、转动副和球副的偏移误差,分析了各种误差模型下的闭环矢量方程。选常用微动并联平台的运动轨迹,反解出各个误差模型下陶瓷驱动器的驱动曲线,将驱动曲线导入ANSYS14.0中各误差模型的有限元模型中,通过探针命令求出微动动平台中心点应变值,与理想轨迹进行对比,得到轨迹对比图。分析各种误差模型的轨迹对比图,最后得出结论:球副的加工误差对微动并联平台的精度影响最大。分析了得到各种误差模型下的误差值,为之后的控制奠定了基础。
【作者单位】： 中国矿业大学;
【关键词】： 微动并联平台 误差源分析 闭环矢量法 ANSYS有限元分析
【基金】：国家自然科学基金(51275512)资助
【分类号】：TH703
【正文快照】： 微动并联平台是将并联平台运动微小化而衍生出的一种新型并联平台。常采用柔性铰链来代替传动铰链,柔性铰链是利用最小厚度在力矩作用下产生的弹性角度变形在机构中起运动副作用。用柔性铰链代替传动铰链能够很好地提高微动机器人的精度;但是仍然存在着很多误差源影响着微动机
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本文编号：619939
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