一种位移放大微动平台的设计和特性分析

发布时间：2017-08-07 14:10

  本文关键词：一种位移放大微动平台的设计和特性分析

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【摘要】：为了增大微动平台的工作行程,设计一种新型位移放大机构,并对其静态和动态特性进行分析。采用杠杆原理设计一种新型的二级微位移放大机构。采用有限元软件ANSYS对机构的柔度和放大倍数进行分析,分析结果表明所设计的平台能放大y方向位移,放大倍数为8.81,而在x和z方向位移较小。对机构进行灵敏度分析表明该机构在x、y方向的位移灵敏度分别为0.86μm/μm、8.82μm/μm,说明机构在放大y方向的位移反应较灵敏。对机构进行模态分析,从振型可以看出该机构能实现运动方向为x和y方向平动,但在x方向的位移较小,并且预应力对机构的固有频率影响较小。研究结果表明,所设计的机构具有较大的工作空间和较高的灵敏度。
【作者单位】： 顺德职业技术学院机电工程系;江西理工大学机电工程学院;
【关键词】： 位移放大机构 固有频率 灵敏度 柔度
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51265016)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 目前,微动平台广泛应用于微电子制造、生物医疗工程、光学微装配及超精密加工等领域[1-2],压电陶瓷驱动的柔性精密平台,可利用自身的弹性变形实现微位移的放大及导向,克服了传统刚性工作台的机械间隙、机械摩擦等缺陷[3-5],因此,定位精度可达纳米级,近年来,此类定位工作台已成

【参考文献】

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【共引文献】

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3 苏绍t

本文编号：635047