用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究

发布时间：2017-08-07 20:00

  本文关键词：用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究

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【摘要】：设计制作了一种基于MEMS技术,可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构,聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料,金作为上、下电极.测试结果表明,在15%RH~95%RH的全量程范围内,湿敏电容的合格率≥80%,灵敏度约为0.29pF/%RH,线性误差1.5%RH,湿滞较小,响应时间小于4 s,温度系数好,具有良好的长期稳定性.研究表明,制作的湿敏电容综合指标良好,适合批量生产,可以满足高空气象探测要求.
【作者单位】： 华东师范大学信息科学技术学院;上海长望气象科技有限公司;
【关键词】： 湿度传感器 湿敏电容 聚酰亚胺 MEMS
【分类号】：TP212;TH765.1
【正文快照】： 0引言湿度!1-2】在人们生产、生活中起着重要的作用.有关湿度传感器的研究%—直是大家关注的热点.近年来,由于聚合物薄膜湿敏电容具有小型化、集成化、低功耗M等特点,吸引了研究者的目光.应用在高空气象探测t8】领域的湿敏电容要求很高,例如要求灵敏度高、响应时间快、湿滞小

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本文编号：636415