当前位置:主页 > 科技论文 > 仪器仪表论文 >

利用环形子孔径拼接法检测非球面反射镜

发布时间:2017-08-08 14:23

  本文关键词:利用环形子孔径拼接法检测非球面反射镜


  更多相关文章: 环形子孔径 Zygo干涉仪 非球面检测


【摘要】:为解决高精度检测非球面反射镜的难题,提出利用Zygo干涉仪完成非球面环形子孔径检测。通过移动待测非球面,使得由干涉仪产生的参考球面波,以不同的曲率半径匹配待测非球面的各个环带区域,分别测试每个环带,进而完成对整个非球面的拼接检测。以双曲面反射镜为例进行拼接检测,并搭建辅助光路,利用无像差点法对拼接结果进行验证。验证结果表明:该方法测量误差小于1/20λ(λ=632.8nm)。
【作者单位】: 西安应用光学研究所;
【关键词】环形子孔径 Zygo干涉仪 非球面检测
【分类号】:TH744.3
【正文快照】: 引言在传统非球面面形检测中,通常需要搭建辅助光路进行测试,虽然检测精度较高,但由于辅助光学元件受尺寸限制,所以检测也具有一定局限性[1-3]。环形子孔径拼接检测技术作为非球面面形的一种检测方法,最早是由Arizona大学光学中心的Y.M.Liu教授在1988年提出,并进行了实验验证,

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 王孝坤;王丽辉;张学军;;子孔径拼接干涉法检测非球面[J];光学精密工程;2007年02期

2 张蓉竹,石琪凯,蔡邦维,许乔;子孔径拼接干涉检测实验研究[J];光学技术;2004年02期

3 白剑,程上彝,杨国光;大口径镜面的多孔径拼接技术[J];光学学报;1997年07期

4 王孝坤;郑立功;张学军;张忠玉;;子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究[J];光子学报;2011年01期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 陈善勇;非球面子孔径拼接干涉测量的几何方法研究[D];国防科学技术大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 季波;子孔径拼接干涉检测非球面光学元件[D];南京理工大学;2008年

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 周庆才;沈泽轶;李敏;;组合孔径光学系统的装调和检测[J];长春理工大学学报(自然科学版);2010年02期

2 张明意;李新南;;子孔径拼接检验法中倾斜的影响及消除方法[J];光电工程;2006年08期

3 王月珠;田义;李洪玉;鞠有伦;;基于标记点的子孔径全局优化拼接检测法[J];光电工程;2009年05期

4 侯溪,伍凡,杨力,吴时彬,陈强;子孔径拼接干涉测试技术现状及发展趋势[J];光学与光电技术;2005年03期

5 王孝坤;王丽辉;张学军;;干涉法实时测量浅度非球面技术[J];光学精密工程;2008年02期

6 满玉春;张学军;;子区域拼接数字莫尔条纹非球面检测的理论分析[J];光学精密工程;2008年03期

7 乔玉晶;吕宁;;像差修正拼接法测量非球面精度的评定[J];光学精密工程;2009年03期

8 张鹏飞;赵宏;周翔;李进军;;采用立体视觉实现子孔径拼接测量的工件定位[J];光学精密工程;2010年02期

9 王孝坤;王丽辉;邓伟杰;郑立功;;用非零位补偿法检测大口径非球面反射镜[J];光学精密工程;2011年03期

10 黎发志;罗霄;赵晶丽;薛栋林;郑立功;张学军;;离轴非球面的计算全息图高精度检测技术[J];光学精密工程;2011年04期

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 刘东;通用数字化高精度非球面干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2010年

2 王小鹏;大口径非球面数字刀口仪测试技术研究[D];南京理工大学;2010年

3 满玉春;基于数字莫尔条纹的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年

4 乔玉晶;非球面拼接测量中偏置误差作用机理与拼接方法研究[D];哈尔滨工业大学;2008年

5 郑鹏;面阵传感圆柱度非接触测量方法及评定技术研究[D];上海大学;2009年

6 徐建程;相位干涉测量的信息理论分析[D];中国工程物理研究院;2009年

7 贾立德;光学非球面坐标测量关键技术研究[D];国防科学技术大学;2008年

8 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年

9 张金平;夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年

10 田超;非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 骆永洁;非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究[D];浙江大学;2011年

2 吴晶;基于Shack-Hartmann的子孔径拼接波前检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年

3 吴峥瑜;平面拼接干涉仪的子孔径扫描定位系统[D];南京理工大学;2012年

4 高辉;等厚干涉仪对大尺寸平面度的数字化测量[D];南京理工大学;2012年

5 郑显锋;基于相移干涉的大平面测量关键技术研究[D];西安工业大学;2012年

6 刘军;高精度波前过程检测技术的研究[D];浙江大学;2004年

7 张艳;数字刀口检测技术的研究[D];四川大学;2004年

8 张均;大口径球面数字刀口检测技术的研究[D];四川大学;2005年

9 常山;大型望远系统的波前检测技术研究[D];四川大学;2005年

10 张维;大型望远系统的波前重构模型与算法研究[D];四川大学;2006年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陆永贵;杨建东;;光学非球面度的探讨[J];长春理工大学学报;2005年04期

2 肖永鹏;任涛;;二元光学在凸非球面零件检测中的应用[J];东北师大学报(自然科学版);2007年03期

3 侯溪,伍凡,杨力,吴时彬,陈强;环形子孔径拼接算法的精度影响因素分析[J];光电工程;2005年03期

4 程刚;蒋世磊;;大口径光学件误差均化拼接技术[J];光电工程;2006年06期

5 侯溪,伍凡,杨力,吴时彬,陈强;子孔径拼接干涉测试技术现状及发展趋势[J];光学与光电技术;2005年03期

6 鄢静舟,雷凡,周必方,高志强;用Zernike多项式进行波面拟合的几种算法[J];光学精密工程;1999年05期

7 郭培基,余景池,孙侠菲;一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计[J];光学精密工程;2002年05期

8 卢振武,刘华,李凤有;利用曲面计算全息图进行非球面检测[J];光学精密工程;2004年06期

9 郭培基;余景池;;用校正法提高补偿器检测法的精度[J];光学精密工程;2006年02期

10 侯溪;伍凡;杨力;吴时彬;陈强;;环形子孔径拼接检测大口径非球面镜的规划模型及分析[J];光学精密工程;2006年02期

中国博士学位论文全文数据库 前3条

1 李剑;基于激光测量的自由曲面数字制造基础技术研究[D];浙江大学;2002年

2 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年

3 郭红卫;多孔径拼接技术实现360°面形测量[D];上海大学;2001年

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 王朝暄;大口径光学平面干涉检测的子孔径拼接研究[D];南京理工大学;2007年

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 Stephen C.Jensen;Weng W. Chow;George N.Lawrence;李泽瑜;;两种子孔径检测方法的比较[J];光学工程;1985年06期

2 白剑,程上彝;子孔径检测及拼接的矩阵分析[J];上海交通大学学报;1997年07期

3 白剑,程上彝;子孔径检测及拼接的目标函数分析法[J];光学仪器;1997年S1期

4 白剑;程上彝;;子孔径检测及拼接的目标函数分析法[J];光学仪器;1997年Z1期

5 郑立功;;基于子孔径拼接法测量高精度反射镜[J];应用光学;2014年01期

6 田爱玲;吴世霞;刘丙才;张鹏飞;;基于权重的子孔径拼接优化算法研究[J];光子学报;2013年08期

7 苏云;李博;;子孔径拼接检测方法的目标函数优化[J];航天返回与遥感;2008年01期

8 丁凌艳;戴一帆;陈善勇;;平面子孔径拼接测量研究[J];光学精密工程;2008年06期

9 曹召良;胡五生;穆全全;胡立发;彭增辉;刘永刚;宣丽;;子孔径光学检测拼接准确度实验研究[J];光子学报;2008年06期

10 陈一巍;王飞;王高文;隋永新;杨怀江;;基于变换的子孔径拼接新算法[J];光学学报;2013年09期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 董军;张蓉竹;张均;许乔;蔡邦维;;子孔径拼接检测技术中样本容量的确定[A];第十届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2004年

2 吴世霞;田爱玲;刘丙才;张鹏飞;;子孔径拼接中系统误差的修正方法[A];2013年(第五届)西部光子学学术会议论文集[C];2013年

3 张蓉竹;许乔;杨春林;蔡邦维;;子孔径拼接干涉检测技术研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年

4 王青;傅英;;子孔径拼接测试中的系统误差放大效应及其消除方法[A];第十三届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2010年

5 王宁;贾辛;邢廷文;;子孔径拼接检测浅度非球面的研究[A];第十届全国光电技术学术交流会论文集[C];2012年

6 陈善勇;李圣怡;戴一帆;;非球面的子孔径拼接干涉测量方法[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年

7 张蓉竹;;大口径光学镜面子孔径拼接检测技术[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年

8 侯溪;伍凡;吴时彬;陈强;;子孔径拼接测试技术现状及发展趋势[A];第十届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2004年

9 张蓉竹;杨春林;石琪凯;;子孔径拼接干涉检测技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年

10 李飞;张涛;;环扫成像[A];中国通信学会第六届学术年会论文集(下)[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库 前6条

1 闫力松;子孔径拼接干涉检测光学镜面算法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年

2 陈一巍;子孔径拼接检测方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年

3 陈善勇;非球面子孔径拼接干涉测量的几何方法研究[D];国防科学技术大学;2006年

4 张敏;子孔径拼接检测技术的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年

5 高天元;子孔径拼接成像系统结构设计及装调方法的研究[D];长春理工大学;2012年

6 周红;基于子带子孔径的低频SAR成像及运动目标检测技术研究[D];国防科学技术大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 杨靖;光学镜面子孔径拼接算法的性能研究[D];国防科学技术大学;2008年

2 郑婉U,

本文编号:640444


资料下载
论文发表

本文链接:https://www.wllwen.com/kejilunwen/yiqiyibiao/640444.html


Copyright(c)文论论文网All Rights Reserved | 网站地图 |

版权申明:资料由用户30785***提供,本站仅收录摘要或目录,作者需要删除请E-mail邮箱bigeng88@qq.com