利用环形子孔径拼接法检测非球面反射镜

发布时间：2017-08-08 14:23

  本文关键词：利用环形子孔径拼接法检测非球面反射镜

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【摘要】：为解决高精度检测非球面反射镜的难题,提出利用Zygo干涉仪完成非球面环形子孔径检测。通过移动待测非球面,使得由干涉仪产生的参考球面波,以不同的曲率半径匹配待测非球面的各个环带区域,分别测试每个环带,进而完成对整个非球面的拼接检测。以双曲面反射镜为例进行拼接检测,并搭建辅助光路,利用无像差点法对拼接结果进行验证。验证结果表明:该方法测量误差小于1/20λ(λ=632.8nm)。
【作者单位】： 西安应用光学研究所;
【关键词】： 环形子孔径 Zygo干涉仪 非球面检测
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 引言在传统非球面面形检测中,通常需要搭建辅助光路进行测试,虽然检测精度较高,但由于辅助光学元件受尺寸限制,所以检测也具有一定局限性[1-3]。环形子孔径拼接检测技术作为非球面面形的一种检测方法,最早是由Arizona大学光学中心的Y.M.Liu教授在1988年提出,并进行了实验验证,

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本文编号：640444