压电陶瓷驱动的线性尺蠖驱动器设计与仿真

发布时间：2017-08-09 09:36

  本文关键词：压电陶瓷驱动的线性尺蠖驱动器设计与仿真

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【摘要】：为了实现纳米操作中的精确定位,提出了一种压电陶瓷驱动的线性尺蠖驱动器。这个驱动器主要由1个柔性机构和3个压电陶瓷构成,其中一个压电陶瓷用来提供驱动力,另外两个用来交替夹紧线性导轨以用来实现尺蠖运动。建立了反映该尺蠖电机运动特性的理论模型,通过有限元仿真评估驱动器的性能和验证模型的有效性,研究了柔性机构的变形行为和相应的最大应力。
【作者单位】： 新疆大学机械工程学院;
【关键词】： 精密定位 压电陶瓷 尺蠖运动 有限元仿真
【分类号】：TH703
【正文快照】： 随着科学技术的发展,高精密定位技术在精密工程中扮演着关键角色,例如,微装配、纳米压印、光纤对准和微纳手术等[1-3]。在这些工程应用中,对定位系统运动范围的要求往往是在毫米级别,而在分辨率方面是纳米级别。影响这两个性能的因素主要包括机械机构、驱动器、传感器和控制系

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本文编号：644635