位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响分析

发布时间：2017-08-10 13:21

  本文关键词：位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响分析

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【摘要】：为确定基于静电力原理微小力装置位置误差对输出结果影响,采用有限元分析方法对一种新型叉指状微小力装置位置变化时输出微小力特性进行分析。通过比较装置极板位置在X、Y、Z方向6个自由度上发生独立运动及复合运动时装置输出微小力变化规律,探讨装置位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响;并确定各自由度上装置位置误差对输出微小力影响较小区间。结果表明不同自由度上叉指状装置位置误差对装置输出结果影响程度不同;位置误差控制在一定范围内,对装置输出微小力影响较小,可为简化电容式微小力源装置设计与制造提供理论依据。
【作者单位】： 广东省现代几何与力学计量重点实验室;广东省计量科学研究院;
【关键词】： 位置误差 叉指电容 力学特性 微小力 数值模拟
【基金】：国家质检总局科技计划项目(2013QK259) 广东省公益研究与能力建设专项资金项目(2014A040401044)
【分类号】：TH823
【正文快照】： 0引言随着科技进步和工业发展,特别是微机电系统(MEMS)技术的广泛应用,微纳量级力学量应用不断增多,微小力量值溯源问题成为力学计量中前沿与热点问题之一。由于微小力量值溯源特殊性,目前世界各国仍处于研究阶段,并未建立相应量值溯源体系。对1 c N~10 N小力,应用中一般以标

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 徐立;郑培亮;李倩;黄振宇;;叉指状微小力装置力学特性的数值模拟与分析[J];中国测试;2015年09期

2 蔡雪;赵美蓉;郑叶龙;张国强;;用于10~(-6)N～10~(-5)N微力测量的柔性铰链机构设计[J];传感技术学报;2014年11期

3 刘明;林玉池;郑叶龙;靳展;刘铮;;利用静电场原理复现微小力值的实验研究[J];传感技术学报;2012年01期

4 齐永岳;刘明;林玉池;付鲁华;;可溯源至质量的静电力复现与测量技术[J];仪器仪表学报;2011年05期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前8条

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2 徐立;郑培亮;李闯;黄振宇;李倩;;位置误差对叉指状微小力装置力学特性影响分析[J];中国测试;2015年11期

3 徐立;郑培亮;李倩;黄振宇;;叉指状微小力装置力学特性的数值模拟与分析[J];中国测试;2015年09期

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6 蔡雪;赵美蓉;郑叶龙;张国强;;用于10~(-6)N～10~(-5)N微力测量的柔性铰链机构设计[J];传感技术学报;2014年11期

7 关涛;刘铮;郑叶龙;赵美蓉;林玉池;;扭转式微小力传感技术研究[J];传感技术学报;2013年03期

8 刘明;林玉池;郑叶龙;靳展;刘铮;;利用静电场原理复现微小力值的实验研究[J];传感技术学报;2012年01期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

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2 念龙生;隆志力;张璐凡;方记文;;基于刚度误差的直角柔性铰链设计可行域分析[J];纳米技术与精密工程;2014年01期

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4 刘明;林玉池;郑叶龙;靳展;刘铮;;利用静电场原理复现微小力值的实验研究[J];传感技术学报;2012年01期

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【相似文献】

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中国硕士学位论文全文数据库 前3条

1 姜京e，

本文编号：650933