基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究

发布时间：2017-08-11 06:22

  本文关键词：基于YAG透明陶瓷制作衍射光栅元件的研究

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【摘要】：研究并制作了以钇铝石榴石(YAG)透明陶瓷为基底材料的衍射光栅元件。通过磁控溅射技术在YAG透明陶瓷表面溅射一层均匀致密的金属铬,获得带有硬掩模的陶瓷样品。借助接触式曝光系统进行光刻,反复试验,获得带有衍射光栅的YAG透明陶瓷样品。经光学轮廓仪检测,样品铬膜厚0.072μm,光栅细节得到完好保留。实际光栅的衍射图样再次验证了以YAG透明陶瓷代替传统微光刻基底材料制作衍射光栅的可行性,使得衍射光栅在更为复杂的环境下发挥作用成为可能。
【作者单位】： 南昌航空大学测试与光电工程学院;无损检测技术教育部重点实验室;
【关键词】： 衍射光栅 YAG透明陶瓷 磁控溅射 接触式曝光系统
【基金】：国家自然科学基金(61261026) 南昌航空大学研究生创新专项资金(YC2013-011)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言近年来,透明陶瓷作为一种广受关注的新型光功能材料[1-2],在军事、科研、工业和医疗等领域的应用前景十分广阔。具有各向同性的立方晶体结构[3]的钇铝石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)因其具有优良的光学性能、稳定的化学性能和良好的力学性能[4],成为制备透明陶瓷的

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 闻雷,孙旭东,马伟民;固相反应法制备YAG透明陶瓷[J];硅酸盐学报;2003年09期

2 孔令瑞;张菲;段军;罗瑞峰;曾晓雁;;水辅助激光刻蚀氧化铝陶瓷的研究[J];激光技术;2014年03期

3 李卫东;曹瑛;房明浩;黄朝晖;;透明陶瓷的研究进展[J];人工晶体学报;2007年01期

4 刘文斌;寇华敏;潘裕柏;唐木智明;李江;郭景坤;;高透光率Nd：YAG透明陶瓷的制备与性能研究[J];无机材料学报;2008年05期

5 石云;潘裕柏;冯锡淇;李江;郭景坤;;Ce~(3+)掺杂YAG透明陶瓷的制备与光性能研究[J];无机材料学报;2010年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 徐满平,周杰;MATLAB在二元光学元件设计中的应用[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2005年01期

2 宋杰光;李世斌;纪岗昌;徐明晗;王芳;魏伟;李伟;张联盟;;合成条件对YAG粉体粒径及显微形貌的影响[J];兵器材料科学与工程;2010年06期

3 颜树华,戴一帆,吕海宝,李圣怡;二元光学器件激光直写技术的研究进展[J];半导体光电;2002年03期

4 林晓春,郭艳艳,向健勇,郑亚娥;圆片表面薄膜应力传感器设计[J];半导体光电;2004年01期

5 赖建军,柯才军,陈四海,易新建;微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成[J];半导体光电;2004年03期

6 纪宪明,沐仁旺,韩良恺;用微光学技术制作位相型聚焦光栅[J];半导体光电;2004年05期

7 鞠挥,吴一辉;微型光谱仪的发展[J];微纳电子技术;2003年01期

8 陈劲松;;用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术[J];微纳电子技术;2006年07期

9 万青松;谢常青;贾佳;潘一鸣;刘明;吴秀龙;陈军宁;;阵列位相环匀光器[J];微纳电子技术;2010年02期

10 齐月静;王平;康果果;谢敬辉;刘yN;杨辉;赵罘;;圆形计算全息图的设计及其参数计算[J];北京理工大学学报;2006年09期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 邓履璧;;量子物理光学[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年

2 梁旭;徐敏;王军华;李锦江;李旭峰;;折-衍光学镜片的单点金刚石车削与检测[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年

3 李卫森;;衍射光学元件在激光雷达光学系统中的应用[A];第十七届十三省（市）光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年

4 龚勇清;刘智怀;高益庆;罗宁宁;李平贵;;一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究[A];第十七届十三省（市）光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年

5 梁玲;张良;;折/衍混合红外光学系统无热设计[A];2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会论文集[C];2007年

6 李斌;魏明月;张新宇;谢长生;张天序;;硅各向异性腐蚀掩膜版的高效率高精度设计[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年

7 魏明月;李斌;张新宇;谢长生;张天序;;红光高清存储衍射物镜的设计与制作[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年

8 王猛;柳波;张新宇;谢长生;张天序;;红光高清光存储光学头衍射物镜的研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年

9 杨勇;谢良星;张慧敏;魏海星;;用于集成成像的消色差Fresnel微透镜阵列的研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年

10 余湛;马浩统;杜少军;;基于GS算法的近场光束整形研究[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集（上册）[C];2010年

中国博士学位论文全文数据库 前10条

1 饶丰;基于个性化眼模型的人工晶体设计及其特性研究[D];南开大学;2010年

2 张梅;基于个性化眼光学结构的人眼色差的研究[D];南开大学;2010年

3 牛爽;全景环带凝视成像光学系统的研究与应用[D];浙江大学;2010年

4 郑建洲;高功率激光靶面均匀辐照技术的研究[D];大连理工大学;2011年

5 刘长海;全息模式波前传感技术研究[D];国防科学技术大学;2011年

6 周哲海;轴对称偏振光束的生成、特性及应用[D];清华大学;2010年

7 秦杰;稀土掺杂纳米YAG透明陶瓷粉体和CePO_4的制备、烧结及发光性能[D];北京化工大学;2011年

8 李珂;用于光束整形与超分辨成像的衍射光学元件的设计和实验[D];中国科学技术大学;2011年

9 刘春雨;非球面补偿检测的准确度研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年

10 王泰升;修正折/衍混合系统像质分析模型的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2011年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 何帅;动态渐变灰阶数字掩模技术制作微透镜的研究[D];南昌航空大学;2010年

2 饶玉芳;无掩模光刻系统的研究与设计[D];南昌航空大学;2010年

3 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年

4 韩宏颖;体积衍射光学元件的标量衍射数组分析[D];辽宁师范大学;2010年

5 马志博;光学表面微结构抗反射特性与优化设计研究[D];西北大学;2011年

6 张文华;透明陶瓷粗糙面光散射研究[D];华中师范大学;2011年

7 郭顺;炭/炭复合材料SiC/YAG-SiC-ZrO_2涂层的制备、结构和氧化性能[D];中南大学;2011年

8 万勇;过剩光载流子光栅的微观机制及衍射效率的理论研究[D];电子科技大学;2011年

9 张斐;一种变距计量光栅刻划的分度定位控制系统研究[D];长春理工大学;2011年

10 索继元;基于光栅波前检测的变焦系统光学设计[D];长春理工大学;2011年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 闻雷,孙旭东,王介强,左良;Y_2O_3超微粉及其透明陶瓷的制备[J];东北大学学报;2002年12期

2 赵福令,冯冬菊,史俊才,郭东明;陶瓷材料超声旋转加工技术[J];电加工与模具;2001年01期

3 王续跃;徐文骥;雷明凯;陈华;王连吉;郭东明;;基于变质层的Al_2O_3陶瓷激光铣削试验研究[J];大连理工大学学报;2009年02期

4 王岫春，，殷景华;透明陶瓷及应用[J];大学物理实验;1995年03期

5 樊慧庆;PLZT透明光电陶瓷的无压烧结制备工艺研究[J];光电子技术与信息;2004年01期

6 谢菊芳,张端明,王世敏,刘素玲,马卫东;透明PLZT电光陶瓷材料的制备及应用研究进展[J];功能材料;1998年01期

7 闻雷,孙旭东,马伟民;共沉淀法制备YAG超细粉及透明陶瓷[J];功能材料;2004年01期

8 王宏志,高濂,HirokazuKawaoka,TohruSekino,KoichiNiihara;多晶YAG陶瓷的制备及力学性能[J];硅酸盐学报;2001年01期

9 李江,潘裕柏,张俊计,黄莉萍,郭景坤;共沉淀法制备钇铝石榴石(YAG)纳米粉体[J];硅酸盐学报;2003年05期

10 闻雷,孙旭东,马伟民;固相反应法制备YAG透明陶瓷[J];硅酸盐学报;2003年09期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 李长青;左洪波;张明福;韩杰才;孟松鹤;许承海;;过烧YAG陶瓷晶界的分析[J];稀有金属材料与工程;2007年S2期

2 徐慧超;周剑英;龚培荣;朱周侠;张永立;黎忠;;YAG晶体在软X射线荧光靶探测器中的应用[J];核技术;2012年08期

3 刘永文;YAG-Ⅱ型激光器控制电路检修一例[J];现代仪器使用与维修;1999年03期

4 李长青;张俊才;武万良;徐家文;;Y_2O_3-Al反应合成YAG相变分析[J];黑龙江科技学院学报;2010年03期

5 仝茂福;范伟明;林智敏;;大颗粒球形YAG荧光粉的研究[J];光源与照明;2010年04期

6 王玮;;YAG电光调Q激光器发光特性的测试[J];光学仪器;2008年04期

7 王琼华,成建波;投影管用高亮度高分辨率三英寸YAG荧光屏[J];真空科学与技术;2000年03期

8 黎学明;李武林;孔令峰;;喷雾热解制备YAG∶Ce荧光粉及其发光性质表征[J];重庆大学学报(自然科学版);2007年03期

9 席振寰;YAg系列增安改进型电机的特点[J];电机技术;1994年02期

10 丁建红;李许波;倪海勇;黄朝辉;张震;;白光LED用YAG∶Ce~(3+)荧光粉的性能研究[J];广东有色金属学报;2006年01期

中国重要会议论文全文数据库 前7条

1 张旭东;刘宏;李霞;王继扬;徐国纲;;溶剂热法合成球形YAG粉体[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年

2 覃显鹏;周国红;王士维;章健;杨燕;;YAG透明陶瓷抗等离子体侵蚀性能的研究[A];第十七届全国高技术陶瓷学术年会摘要集[C];2012年

3 仝茂福;范伟明;林智敏;;大颗粒球形YAG荧光粉的研究[A];第二届中国包头·稀土产业论坛专家报告集[C];2010年

4 苏良碧;张丹;李红军;钱小波;沈Q

本文编号：654635