光学非球面三坐标测量中的像散补偿

发布时间：2017-08-12 12:32

  本文关键词：光学非球面三坐标测量中的像散补偿

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【摘要】：利用三坐标测量仪在光学非球面镜研磨与粗抛阶段进行面形检测时,测量结果常由于补偿程序不完善而出现像散误差。本文分析了非球面三坐标测量得到的数据,指出测量结果中出现像散误差是测头半径补偿不准确所致。然后,提出了一种离线数据处理方法对测量数据进行补偿来消除像散误差。该方法通过计算网格排列的测头中心点行和列方向的切向量得出曲面上每个点的法向矢量;根据测头半径计算出测头球心到接触点的偏移量,从而实现三坐标测量仪的三维测头半径补偿。球面样板实验显示这种方法可以将该样板测量中的像散峰谷值(PV)由4.921 9μm减小到0.065 2μm,基本消除了测量结果中的像散误差,提高了三坐标测量结果的准确度。实验结果验证了提出的三维测头半径补偿程序的有效性。
【作者单位】： 武汉理工大学材料科学与工程学院;中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室;
【关键词】： 非球面检测 三坐标测量仪 测头半径补偿 像散补偿
【分类号】：TH74;TH721
【正文快照】： 1引言光学非球面元件在国防、空间光学等领域的应用越来越广泛,人们对非球面光学加工工艺和检测技术也提出了更高的要求。非球面轮廓测量法是通过三坐标测量仪或轮廓仪等测量设备获得工件表面各点坐标值,进而分析得到非球面面形误差[1]。坐标测量法是研磨与粗抛光阶段检测面形

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本文编号：661635