1550nm陷波滤光片制备工艺技术研究

发布时间：2017-08-16 05:23

  本文关键词：1550nm陷波滤光片制备工艺技术研究

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【摘要】：陷波滤光片在抗激光损伤、激光防护和光电对抗领域应用广泛,如何提高其通带透过率,降低陷波点透过率是研究热点之一。基于Rugate理论设计了400nm~2 500nm波段1 550nm陷波滤光片,分析了Rugate折射率函数各参数对光谱性能的影响。采用PECVD技术在K9玻璃基底上镀制了单面的1 550nm陷波滤光片,通带的平均透过率达到88.54%,在1 550nm处的透过率为3.62%。
【作者单位】： 西安工业大学;陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;
【关键词】： PECVD Rugate 陷波滤光片
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言从某一波段透射光谱中去除某一波带的滤光片,称之为陷波滤光片。这种光学薄膜在抗激光损伤、激光防护和光电对抗领域应用广泛。陷波滤光片制造的关键技术是在提高其通带透过率的同时降低陷波点透过率。Rugate滤光片是渐变折射率光学薄膜,其折射率沿基底表面随膜厚有规则周

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